離子注入

• 國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備新動向，離子注入等迎新局
  

  在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域，離子注入和超聲波技術(shù)作為中國半導(dǎo)體設(shè)備發(fā)展的兩大驅(qū)動力，正助力半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向更高端、更先進的方向邁進。近期，行業(yè)內(nèi)波瀾涌動，傳來兩大重磅事件：一邊是華海清科擬通過收購芯崳公司加速布局離子注入機，有望攻克離子注入機這一關(guān)鍵設(shè)備的潛在壁壘；另一邊，半導(dǎo)體超聲設(shè)備企業(yè)驕成超聲總部基地開工，預(yù)示著在半導(dǎo)體超聲應(yīng)用方面將邁向新臺階。

  全球半導(dǎo)體觀察

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  12/25 16:31

  半導(dǎo)體設(shè)備 CMP
• 離子注入設(shè)備硬核詳解
  

  今天看到一個半導(dǎo)體公司，通過收購資產(chǎn)從原來的CMP主業(yè)擴展到了離子注入設(shè)備行業(yè)。對于半導(dǎo)體行業(yè)對上下游以及同行收購整個和啟哥是非常支持的，因為我一直認(rèn)為中國從芯片設(shè)計到半導(dǎo)體裝備到材料耗材，需要整合出幾家大而強的公司才能去和國外同行抗?fàn)?，如果是小而散的格局，根本無力與歐美傳統(tǒng)巨頭扳手腕。

  啟哥有何妙計

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  12/25 08:58

  離子注入
• 離子注入：硅基集成電路制造中的關(guān)鍵工藝之一
  

  在現(xiàn)代半導(dǎo)體制造過程中，控制半導(dǎo)體材料的電學(xué)特性至關(guān)重要。通過摻雜工藝向半導(dǎo)體中引入雜質(zhì)原子，能夠改變材料的導(dǎo)電性，形成如晶體管等基礎(chǔ)元件的關(guān)鍵區(qū)域。傳統(tǒng)的摻雜方法有擴散法和離子注入法，而自20世紀(jì)70年代以來，離子注入技術(shù)因其高精度、可控性和工藝溫度相對較低，逐漸成為主流的雜質(zhì)摻雜方式。

  老虎說芯

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  10/10 15:10

  離子注入
• 晶圓Fab廠離子注入工程師常見面試問題
  

  國內(nèi)某知名Fab工程師工作5年的李工分享了離子注入工藝崗位的面試問題：這些問題分成幾個主要類別：理論知識、工藝?yán)斫馀c優(yōu)化、設(shè)備操作與維護、故障排查與解決、項目管理與協(xié)作，以及前沿技術(shù)與趨勢。以下是按照這些類別整理的50個問題。

  老虎說芯

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  08/15 10:40

  fabless 離子注入
• SiC離子注入設(shè)備的廠家有哪些？
  學(xué)員問：我想咨詢一下國內(nèi)做SiC離子注入設(shè)備的廠家有哪些？如下圖，目前下圖是國內(nèi)已知的稍大的離子注入設(shè)備供應(yīng)商，相對國外的AMAT,Axcelis相比，實力會差很多。主要體現(xiàn)在：

  TOM聊芯片智造

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  08/05 10:45

  SiC 離子注入
• 離子注入后不退火行不行？
  離子注入后都會退火，退火的作用是什么？不退火行不行？離子注入對硅片造成哪些影響？離子注入時，高能的雜質(zhì)離子加速撞擊硅片表面，將其動能轉(zhuǎn)化為熱能和位移能，引起硅原子的遷移和重排，破壞了硅的晶格結(jié)構(gòu)，會產(chǎn)生位錯、空位等缺陷。

  TOM聊芯片智造

  3012

  06/19 12:00

  硅片 離子注入

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