SiC離子注入設(shè)備的廠家有哪些？

知識(shí)星球（星球名：芯片制造與封測(cè)技術(shù)社區(qū)，星球號(hào)：63559049）里的學(xué)員問(wèn)：我想咨詢一下國(guó)內(nèi)做SiC離子注入設(shè)備的廠家有哪些？

如下圖，目前下圖是國(guó)內(nèi)已知的稍大的離子注入設(shè)備供應(yīng)商，相對(duì)國(guó)外的AMAT,Axcelis相比，實(shí)力會(huì)差很多。主要體現(xiàn)在：

1，精度

2，生產(chǎn)速率

3,穩(wěn)定性

4，軟件

其中，北京爍科中科信，青島四方思銳智能，上海凱世通，季華恒一（佛山）是具有SiC離子注入設(shè)備。

國(guó)外的SiC離子注入設(shè)備商有：Axcelis ，AMAT,SHELLBACK,愛發(fā)科,日新離子機(jī)械株式會(huì)社等。

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