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半導(dǎo)體與金屬接觸時(shí),多會(huì)形成勢(shì)壘層,但當(dāng)半導(dǎo)體摻雜濃度很高時(shí),電子可借隧道效應(yīng)穿過勢(shì)壘,從而形成低阻值的歐姆接觸。歐姆接觸對(duì)半導(dǎo)體器件非常重要,形成良好的歐姆接觸有利于電流的輸入和輸出,對(duì)不同半導(dǎo)體材料常選擇不同配方的合金作歐姆接觸材料。歐姆接觸在金屬處理中應(yīng)用廣泛,實(shí)現(xiàn)的主要措施是在半導(dǎo)體表面層進(jìn)行高摻雜或者引入大量復(fù)合中心。
半導(dǎo)體與金屬接觸時(shí),多會(huì)形成勢(shì)壘層,但當(dāng)半導(dǎo)體摻雜濃度很高時(shí),電子可借隧道效應(yīng)穿過勢(shì)壘,從而形成低阻值的歐姆接觸。歐姆接觸對(duì)半導(dǎo)體器件非常重要,形成良好的歐姆接觸有利于電流的輸入和輸出,對(duì)不同半導(dǎo)體材料常選擇不同配方的合金作歐姆接觸材料。歐姆接觸在金屬處理中應(yīng)用廣泛,實(shí)現(xiàn)的主要措施是在半導(dǎo)體表面層進(jìn)行高摻雜或者引入大量復(fù)合中心。收起
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