光掩膜板

• EUV掩膜版清洗技術(shù)挑戰(zhàn)及解決方案
  

  EUV（極紫外光）掩膜版是現(xiàn)代半導(dǎo)體制造工藝中關(guān)鍵的元件之一，在集成電路的光刻過程中扮演著至關(guān)重要的角色。由于EUV技術(shù)的精密性和高要求，掩膜版的質(zhì)量直接影響到最終成品的良率。而在這些技術(shù)中，清洗掩膜版是一個不可忽視的環(huán)節(jié)。盡管EUV掩膜版的清洗步驟相較于硅片的清洗流程較少，但其面臨的挑戰(zhàn)卻異常復(fù)雜，主要體現(xiàn)在顆粒去除、材料損傷、污染控制等方面。

  老虎說芯

  375

  12/26 08:38

  EUV 光掩膜板
• 我國超精細金屬掩膜版材料獲得新突破
  

  薄如蟬翼、貴過黃金的金屬光罩，OLED面板用超精細金屬掩膜版（FMM)決定著主流蒸鍍OLED的質(zhì)量和產(chǎn)量，是OLED產(chǎn)業(yè)最為重要的核心耗材。但也正因其進入門檻很高、市場依賴性強，成為套在面板廠商頭上的隱形“魔咒”。

  中國電子報

  1011

  12/06 10:30

  光掩膜板
• 光罩（Mask/掩膜版）的系統(tǒng)性講解
  

  光罩（Mask），也稱為掩膜版，是集成電路（IC）制造過程中核心且關(guān)鍵的元件之一。作為光刻技術(shù)的核心工具，光罩將設(shè)計好的電路圖案轉(zhuǎn)移到晶圓表面，其質(zhì)量直接決定了芯片制造的精度和性能。

  老虎說芯

  3133

  11/29 11:20

  光掩膜板
• 光刻掩膜版用什么藥液來洗？
  學(xué)員問：光罩臟了，該如何清洗，洗的頻率如何？用了什么原理？掩膜版（光罩）為什么會臟？以投影式光刻機與接觸式光刻機為例，關(guān)于投影式與接觸式光刻機見之前的文章：《什么是接觸式/接近式/投影式/步進式光刻機？》

  TOM聊芯片智造

  1041

  10/23 08:55

  光掩膜板
• 產(chǎn)業(yè)丨光掩膜大漲？
  

  光掩膜在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用，彰顯了其在技術(shù)創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)升級進程中的核心角色。伴隨著半導(dǎo)體技術(shù)的日新月異，對光掩模的技術(shù)標準亦隨之不斷提升，這一趨勢持續(xù)驅(qū)動著光掩模技術(shù)的深入發(fā)展與持續(xù)創(chuàng)新。

  AI芯天下

  1286

  08/02 11:00

  半導(dǎo)體制造 光掩膜板
• EUV掩膜版用什么材質(zhì)做的？
  學(xué)員問：聽說EUV的掩膜版是反射式的，但是我們常見的掩膜版都是透射式的，為什么會這樣？EUV掩膜版結(jié)構(gòu)麻煩介紹下。

  TOM聊芯片智造

  1552

  07/30 11:00

  光掩膜板
• FMM為高世代OLED競爭蓄勢
  

  在OLED大尺寸化浪潮下，上游關(guān)鍵核心材料——FMM（精細金屬掩模版）也開始為適配8代OLED面板作準備。日本材料廠商DNP（大日本印刷）、韓國材料廠商Poongwon Precision（豐元精密）先后宣布布局8代FMM。我國金屬掩膜版材料企業(yè)也在默默蓄力。8代FMM真的要來了？

  中國電子報

  4607

  01/09 09:50

  oled OLED面板
• ?市場規(guī)模接近全球六成，我國平板顯示掩膜版產(chǎn)業(yè)仍存短板
  

  掩膜版又稱光罩、光掩膜，是光刻工藝中的關(guān)鍵耗材，從應(yīng)用角度看，主要分為半導(dǎo)體掩膜版和平板顯示掩膜版。隨著全球顯示產(chǎn)業(yè)進一步向中國轉(zhuǎn)移，以及在高世代、高精度市場需求的帶動下，2025年中國平板顯示掩膜版市場規(guī)模全球占比有望超過60%。不過業(yè)內(nèi)人士強調(diào)，盡管我國掩模版行業(yè)發(fā)展速度很快，但還是存在產(chǎn)業(yè)鏈斷層的情況，關(guān)鍵原材料和設(shè)備仍被掣肘。

  中國電子報

  3198

  01/04 10:30

  光掩膜板 光掩膜
• 掩模版
  掩模板，又稱掩膜、掩?；騧ask，是一種在微電子制造過程中用來形成圖案和結(jié)構(gòu)的工具。它扮演著將指定圖形投影到半導(dǎo)體器件上的關(guān)鍵角色。

  eefocus_3901714

  1159

  11/11 11:36

  光掩膜板

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