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近日，晶盛機(jī)電技術(shù)研發(fā)再次突破，成功研發(fā)出全自動金剛石生長爐。
金剛石晶體生長爐成功研制
晶體生長設(shè)備家族再添新成員
官方消息稱，晶盛機(jī)電晶體實(shí)驗(yàn)室經(jīng)過半年多的工藝測試，全自動MPCVD法生長金剛石設(shè)備（型號XJL200A）成功生長出高品質(zhì)寶石級的金剛石晶體。
圖片來源：晶盛機(jī)電
據(jù)介紹，此次XJL200A金剛石生長爐成功解決了傳統(tǒng)的MPCVD培育鉆石生長技術(shù)的行業(yè)痛點(diǎn)：對多晶及生長裂紋等缺陷的判斷、對晶體溫度和生長厚度等關(guān)鍵生長參數(shù)的控制都依賴人工判斷，克服了目前人工培育鉆石過程中質(zhì)量控制和規(guī)?；a(chǎn)的瓶頸。
圖片來源：晶盛機(jī)電
作為碳化硅、氮化鎵之后具有代表性的新一代半導(dǎo)體材料，金剛石晶體又稱鉆石，被譽(yù)為“終極半導(dǎo)體”材料，此次金剛石晶體生長爐成功研制，標(biāo)志著晶盛機(jī)電在硅、藍(lán)寶石、碳化硅等晶體生長設(shè)備家族再添新成員。
據(jù)項(xiàng)目負(fù)責(zé)人表示，目前已經(jīng)完成了設(shè)備定型和批量工藝開發(fā)，設(shè)備即將投放市場，能為客戶提供一站式解決方案。
23萬片意向訂單在手
50億SiC襯底晶片項(xiàng)目即將開工
資料顯示，晶盛機(jī)電是國內(nèi)領(lǐng)先的半導(dǎo)體材料裝備和LED襯底材料制造的高新技術(shù)企業(yè)，主要圍繞硅、碳化硅、藍(lán)寶石三大主要半導(dǎo)體材料開展業(yè)務(wù)。
近年來，晶盛機(jī)電順應(yīng)行業(yè)發(fā)展趨勢，提早布局碳化硅晶片市場。目前，該公司碳化硅外延設(shè)備已通過客戶驗(yàn)證，同時(shí)在6英寸碳化硅晶體生長、切片、拋光環(huán)節(jié)建立測試線，其6英寸碳化硅晶片已獲得客戶驗(yàn)證。
晶盛機(jī)電此前在投資者關(guān)系活動記錄表中披露，截至2022年2月7日，客戶A已與公司形成采購意向，2022年-2025年公司將優(yōu)先向其提供碳化硅襯底合計(jì)不低于23萬片。
圖片來源：晶盛機(jī)電
此外，為加快推進(jìn)第三代半導(dǎo)體材料碳化硅業(yè)務(wù)，2月7日，晶盛機(jī)電發(fā)布公告稱，擬募集資金不超過57億元，其中擬投入31.34億元在寧夏銀川建設(shè)碳化硅襯底晶片生產(chǎn)基地項(xiàng)目。
圖片來源：晶盛機(jī)電
2月25日，晶盛機(jī)電碳化硅襯底晶片生產(chǎn)項(xiàng)目正式落戶寧夏。據(jù)央廣網(wǎng)報(bào)道，該項(xiàng)目總投資50億元，一期預(yù)計(jì)3月開工建設(shè)，投資總額33.6億元，一期建成達(dá)產(chǎn)后預(yù)計(jì)年產(chǎn)6英寸碳化硅晶片40萬片。
