827
近日，深圳平湖室宣布，國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺(tái)已正式舉辦通線儀式，宣告“國(guó)內(nèi)首個(gè)集科研和中試于一體的8吋先進(jìn)功率半導(dǎo)體開放共享平臺(tái)”正式通線。
據(jù)悉，這是全國(guó)首條集8吋SiC/GaN科研和中試于一體的功率半導(dǎo)體開放共享平臺(tái)，覆蓋第三代功率半導(dǎo)體襯底、外延、器件制備、封裝測(cè)試、失效分析、可靠性驗(yàn)證全鏈條，建成先進(jìn)的8inch工藝平臺(tái)，具備向下兼容能力。
在通線儀式之后，深圳綜合平臺(tái)的運(yùn)營(yíng)單位深圳平湖實(shí)驗(yàn)室與深圳方正微電子有限公司、深圳市重投天科半導(dǎo)體有限公司等17家企業(yè)分別與簽署合作框架協(xié)議，將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域全面開展前沿探索、應(yīng)用基礎(chǔ)研究、重大技術(shù)攻關(guān)、產(chǎn)業(yè)應(yīng)用示范等工作，與各領(lǐng)域伙伴緊密合作，形成戰(zhàn)略合力。
目前，平湖實(shí)驗(yàn)室已精心布局1200-6500V SiC MOSFET及15-1200V GaN HEMT產(chǎn)品及工藝平臺(tái)，正在積極構(gòu)建從材料制備、芯片設(shè)計(jì)、晶圓制造到封裝測(cè)試的完整產(chǎn)業(yè)鏈，將為我國(guó)進(jìn)一步完善、升級(jí)第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈提供重要助力。
未來，深圳綜合平臺(tái)將在重點(diǎn)關(guān)鍵核心技術(shù)領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)突破，加速科技成果的產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)化進(jìn)程，持續(xù)向著成為世界領(lǐng)先的第三代及第四代功率半導(dǎo)體創(chuàng)新、中試及共享的平臺(tái)的愿景努力。
