電子束量檢測是半導(dǎo)體量檢測領(lǐng)域的主要技術(shù)類型之一,在半導(dǎo)體制程不斷微縮,光學(xué)檢測對先進(jìn)工藝圖像識別的靈敏度逐漸減弱的情況下,發(fā)揮著越來越重要的作用。電子束量檢測設(shè)備對于檢測的精度、可適用性、穩(wěn)定性、吞吐量等要求很高,其研發(fā)和設(shè)計非常具有技術(shù)挑戰(zhàn)性。 作為布局該領(lǐng)域最早的國內(nèi)企業(yè)之一,東方晶源已先后成功推出電子束缺陷檢測設(shè)備EBI,關(guān)鍵尺寸量測設(shè)備CD-SEM(12英寸和6&8英寸),電子束