“傳感器是衡量一個(gè)國(guó)家工業(yè)能力的標(biāo)準(zhǔn),”在中國(guó)半導(dǎo)體協(xié)會(huì)MEMS分會(huì)第二屆市場(chǎng)年會(huì)上,中科院電子所研究員、傳感器技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室(北方基地)主任劉昶說(shuō)道,“雖然MEMS體量不大,但沒(méi)有其他任何一個(gè)行業(yè)在納米級(jí)和微米級(jí)做微型機(jī)械產(chǎn)品。MEMS水平代表了國(guó)家核心工業(yè)實(shí)力。”劉昶認(rèn)為,在MEMS