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美國國防部于2021年1月14日再將9家中國企業(yè)列入由中國解放軍方擁有或是控制的中國企業(yè)名單中，稱之為國防部黑名單，其中更包含陸系半導體蝕刻設備龍頭中微公司。
中微公司是唯一能切入 7nm 以下先進制程產(chǎn)線的陸系設備商
中微公司的全稱是中微半導體設備(上海)，大基金曾于 2015 年注資 4.8 億元人民幣，取得其 7.5%股份。從中微公司的股權結構來看，截至 2020 年第三季，上海國有資產(chǎn)監(jiān)督管理委員會間接持有 18.02%股份，大基金間接持有 17.45%股份，國開金融公司則持有 2.88%股份，總計國有資本的持股將近 4 成。
中微公司的主力產(chǎn)品是蝕刻設備，同時也布局化學氣相沉積設備，惟后者主要面向 LED 制造。
在蝕刻設備部分，主要是介質蝕刻領域的等離子蝕刻設備，可應用于 8～12 吋晶圓，滿足 65～5nm 制程需求。中微公司的后段蝕刻設備已經(jīng)切入臺積電 7nm 產(chǎn)線，另外應用于 5nm 產(chǎn)品也通過臺積電驗證，是現(xiàn)階段唯一能切入國際大廠 7nm 以下先進制程產(chǎn)線的陸系設備商。
除了臺積電外，中微公司的主要客戶還有中芯國際、華虹集團、長江存儲等中國本土一線大廠，是中國半導體制造自主化的指標企業(yè)。
表：中微公司主要布局之設備與供應商
Source：拓墣產(chǎn)業(yè)研究院整理，2021/01
美國國防部黑名單具宣示意義，惟對中微公司之實質影響不大
美國國防部系根據(jù) 1999 年國防授權法第 1237 條(Section 1237 of the National Defense Authorization Act for Fiscal Year 1999)，列出中國軍方擁有或是控制的中國企業(yè)名單。
根據(jù)美國總統(tǒng) Trump 簽署的行政命令，美國投資人必須于 2021 年 11 月 11 日前出清名單上中國企業(yè)的持股，預期國防部黑名單將限縮中微公司的融資管道。
由于中微公司已獲得國有資本大力支持，且該廠商更是我國半導體蝕刻設備龍頭，為我國實現(xiàn)半導體制造自主化的指標廠商，在我國資金與政策支持下，美國限縮其融資管道的影響將相對有限，宣示意義較濃。
接下來的觀察重點則是美國是否會采取中芯國際模式，先由國防部將中微公司列入黑名單，再由商務部將中微公司列入實體清單(Entity List)。畢竟中微公司開發(fā)的蝕刻設備，仍須仰賴國際大廠供應部分零組件，一旦遭列入實體清單，勢將影響其設備之研發(fā)與制造。
