近日,SiC領(lǐng)域2個項目先后宣布擴產(chǎn)、開工:
●?三菱電機:8英寸SiC工廠將于4月開工,總投資55億元。
● 美爾森:獲近1億政府補貼,投資6.7億,建40萬片SiC襯底工廠。
三菱電機:8吋SiC工廠即將開工
3月13日下午,據(jù)“日經(jīng)新聞”消息,三菱電機將于今年4月,在日本熊本縣開工建設(shè)新的8英寸SiC工廠,并計劃于2026年4月投入運營。
據(jù)“行家說三代半”此前報道,三菱電機于2023年3月中旬宣布,計劃在5年內(nèi)投資約1000億日元(約51億元人民幣)建設(shè)一個8英寸SiC工廠,并加強相關(guān)生產(chǎn)設(shè)施。
資料顯示,該新工廠共有六層,總建筑面積約4.2萬平方米,將主要負責8 英寸 SiC 晶圓的前端工藝;三菱電機將在全工序段引入自動輸送系統(tǒng),打造生產(chǎn)效率高的生產(chǎn)線,并計劃逐步提高產(chǎn)能,目標在2026財年將SiC產(chǎn)能提升5倍(與2022財年相比)。
值得一提的是,該工廠已經(jīng)“綁定”了Coherent(前 II-VI )的碳化硅襯底產(chǎn)能——
2023年5月,三菱電機與Coherent簽署了一份諒解備忘錄,Coherent將為三菱電機新工廠供應8英寸n型4H SiC襯底,雙方共同致力于擴大8英寸SiC器件的生產(chǎn)規(guī)模。
美爾森:投資6.7億,建40萬片SiC襯底工廠
3月12日,歐洲石墨材料和碳化硅襯底供應商美爾森宣布,他們獲得了法國政府的投資,將用于SiC襯底項目的產(chǎn)能擴充。
據(jù)悉,該筆補貼金額或?qū)⒊^1200萬歐元(約合人民幣0.94億),來自于“法國2023計劃”——微電子和通信技術(shù)歐洲重要聯(lián)合利益項目。
美爾森表示,他們計劃借此推進p-SiC襯底的研發(fā)和工業(yè)生產(chǎn)階段,p-SiC是一種低電阻率多晶SiC襯底,可以與單晶SiC有源層相結(jié)合,有助于SiC器件廠商提高產(chǎn)量和晶體管性能。
為提高p-SiC產(chǎn)能,2023至2025年,美爾森預計將投資8500萬歐元(約合人民幣6.7億),雇傭80至100名員工,推動法國熱訥維耶工廠的產(chǎn)能建設(shè),并在 2027 年之前達到 40萬片襯底(150 mm)的潛在制造能力。
據(jù)“行家說三代半”了解,美爾森的p-SiC多晶襯底將供應給法國Soitec。2021年11月,美爾森與Soitec達成戰(zhàn)略合作伙伴關(guān)系,憑借各自在基板和材料方面的經(jīng)驗,雙方聯(lián)合開發(fā)的極低電阻率多晶 SiC 襯底將用于Soitec SmartSiC? 技術(shù)設(shè)計的 SiC 電力電子元件。