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即揭開一剝離工藝，是晶圓廠中的常見工藝，是制作金屬互連、導(dǎo)線和其他結(jié)構(gòu)時(shí)的一種替代光刻和蝕刻過程的方法。

即揭開一剝離工藝，是晶圓廠中的常見工藝，是制作金屬互連、導(dǎo)線和其他結(jié)構(gòu)時(shí)的一種替代光刻和蝕刻過程的方法。收起

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