太赫茲技術(shù)是指在太赫茲頻段(100 GHz - 10 THz)進(jìn)行通信、檢測(cè)、成像等領(lǐng)域的研究。由于太赫茲波長(zhǎng)處于可見光和微波之間,具有穿透性強(qiáng)、對(duì)生物組織無害、不受電離輻射影響、可較好地控制和調(diào)節(jié)等優(yōu)點(diǎn),因而被廣泛應(yīng)用于安全檢測(cè)、半導(dǎo)體制造、醫(yī)學(xué)影像等領(lǐng)域。
1.太赫茲技術(shù)的原理
太赫茲波是指頻率在100GHz至10THz之間、波長(zhǎng)在30微米至3毫米之間的電磁波。太赫茲波的產(chǎn)生可以通過激光技術(shù)、微波工程技術(shù)等多種方法實(shí)現(xiàn),并且具有非接觸式成像、高分辨率檢測(cè)、無害化探測(cè)等特點(diǎn)。
2.太赫茲技術(shù)的應(yīng)用
太赫茲技術(shù)在安全檢測(cè)、半導(dǎo)體制造、醫(yī)學(xué)影像等領(lǐng)域都有廣泛的應(yīng)用。例如,在飛機(jī)安全檢測(cè)中,太赫茲成像可以檢測(cè)難以被X射線和金屬探測(cè)器檢測(cè)到的物品;在生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域,太赫茲成像可以用于皮膚組織、乳腺組織等內(nèi)窺成像;在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,太赫茲?rùn)z測(cè)可以精確測(cè)量材料中的電子、聲子狀態(tài)等。