晶圓廠中dummy片,測試片,真片的區(qū)別是什么？

知識星球（星球名：芯片制造與封測技術社區(qū)，星球號：63559049）里的學員問：看資料有了解到晶圓廠中有dummy wafer，test wafer，真片的叫法，這幾種片子各自有什么作用嗎？

dummy wafer

dummy的英文直譯為“假的，仿真的”，dummy wafer也可以叫做假片。一般是沒有圖形，或只有若干層圖形，主要的應用場景：

1，用于半導體設備的調(diào)試和校準，確保設備在正式生產(chǎn)前處于最佳狀態(tài)。

2，在引入新工藝或調(diào)整現(xiàn)有工藝時，使用dummy片進行測試和優(yōu)化，減少對量產(chǎn)片造成的風險。

test?wafer

測試片（工程片）具有完整的工藝流程，包含了各種圖形和結構的晶圓。

主要作用：

1，在新的芯片產(chǎn)品導入過程中，使用測試片驗證和優(yōu)化新產(chǎn)品的制造工藝，最終實現(xiàn)量產(chǎn)。

2，當產(chǎn)線上的量產(chǎn)晶圓出現(xiàn)工藝問題時，做相應的DOE試驗以改善工藝。

量產(chǎn)晶圓

量產(chǎn)晶圓用于生產(chǎn)需要給客戶出貨的半導體器件等，量產(chǎn)晶圓在生產(chǎn)過程中進行嚴格的質量控制，確保產(chǎn)品符合客戶要求能要求。

Dummy片（Dummy Wafer）： Dummy片通常是由類似晶圓的材料制成，但并不具有電路元件。它們主要用作充填或填充工藝上的支撐或協(xié)助，以幫助維持生產(chǎn)設備的平衡和穩(wěn)定性。

測試片（Test Wafer）： 測試片是用于測試生產(chǎn)過程中設備性能和產(chǎn)品質量的樣品，通常包含一些標準測試結構或器件。測試片用于驗證設備運行情況、檢查生產(chǎn)工藝以及確保產(chǎn)品符合規(guī)格要求。

真片（Production Wafer）： 真片是指用于批量生產(chǎn)芯片或其他電子器件的正式晶圓。這些真片上包含著完整的電路設計和結構，經(jīng)過加工后成為最終的產(chǎn)品。

為什么要分這幾類晶圓？

主要是從成本與重要性考慮。成本/重要性：量產(chǎn)晶圓>test wafer>dummy wafer.量產(chǎn)晶圓是要出貨給客戶，是整個公司的經(jīng)濟命脈，因此要保證量產(chǎn)晶圓高質高量地完成生產(chǎn)任務。工藝參數(shù)，工藝流程相對比較固定。任何改動都要確保100%的安全性。因此衍生出了一些成本較低，靈活性較強的dummy wafer，ENG wafer以避免對量產(chǎn)晶圓的浪費！

歡迎加入我的半導體制造知識星球社區(qū)，目前社區(qū)有1500人左右，是國內(nèi)最大的半導體制造學習平臺。在這里會針對學員問題答疑解惑，上千個半導體行業(yè)資料共享，內(nèi)容比文章豐富很多很多，適合快速提升半導體制造能力，介紹如下：? ? ? 《歡迎加入作者的芯片知識社區(qū)！》