真空調(diào)節(jié)器是一種利用真空度控制氣壓的儀器。它可以在非常低的氣壓下工作,因此廣泛應(yīng)用于許多不同的領(lǐng)域,包括半導(dǎo)體加工、真空冷卻、醫(yī)療設(shè)備和光學(xué)鍍膜等。
1.什么是真空調(diào)節(jié)器
真空調(diào)節(jié)器是一種通過控制氣體進(jìn)出來維持特定空間內(nèi)部的真空度并穩(wěn)定其值的裝置。利用真空度控制一個(gè)封閉空間中氣體的數(shù)量和壓力,從而使得該物體的外部環(huán)境氣體對其熱傳遞、輻射和傳導(dǎo)效應(yīng)降到最小,有利于各類實(shí)驗(yàn)與工藝的進(jìn)行。
2.真空調(diào)節(jié)器工作原理
真空調(diào)節(jié)器通過一個(gè)控制系統(tǒng)來調(diào)整閥門的開關(guān)狀態(tài),控制氣體流向及速度大小,以達(dá)成設(shè)定的真空度。真空調(diào)節(jié)器內(nèi)部結(jié)構(gòu)復(fù)雜,通常由真空容器、壓力傳感器、溫度控制系統(tǒng)等組件構(gòu)成。在調(diào)節(jié)器內(nèi)部,氣體分子的運(yùn)動受到閥門的調(diào)整而發(fā)生變化,通過它流入的氣體在緩沖區(qū)達(dá)成一定均衡狀態(tài)后向瓶外擴(kuò)散,最終達(dá)到所需的穩(wěn)態(tài)真空度。
3.真空調(diào)節(jié)器作用
真空調(diào)節(jié)器主要用于控制和維持封閉容器中的真空度在一定范圍內(nèi),并實(shí)現(xiàn)可靠的氣密性以確保進(jìn)料、出氣和觀察的等物理性能。由于兩個(gè)壓力相近的容積之間傳遞的熱量非常小,真空環(huán)境成為各類高效率反應(yīng)和加工的重要工具,真空調(diào)節(jié)器因此廣泛應(yīng)用于氣相制備、光電半導(dǎo)體工藝、全息照相術(shù)、電鍍離子束聚焦和加速等領(lǐng)域中。