ASML、NIKON、CANON光刻機型號參數(shù)匯總

之前，我發(fā)布了一個ASML光刻機的型號參數(shù)的匯總列表?？雌饋泶蠹覍@個數(shù)據(jù)非常感興趣，實際的閱讀量遠超我最初的預估既然如此，那我就多發(fā)布一些數(shù)據(jù)吧。這次，我干脆把全球前道光刻機供應商御三家：ASML、NIKON、CANON的全部數(shù)據(jù)都一次性發(fā)布出來，供大家參考吧老粉絲應該或許還記得我以前也發(fā)布過這個數(shù)據(jù)。

不過這次，我又增加了不少新的數(shù)據(jù)：

ASML：增加了最新NA值?.55得TWINSCAN EXE；增加了若干老機型的數(shù)據(jù)（部分數(shù)據(jù)參考了公眾號：TOM聊芯片智造，特此感謝）NIKON：增加最新的NSR S636E等兩三款型號

CANON：增加FPA Stepper機型若干

基本上，這個表格大體囊括了市面上主流的光刻機數(shù)據(jù)了，值得大家參考和收藏（限于我個人能力，很可能還有個別遺漏的，也麻煩大家給我留言提醒，謝謝了）

這些原始數(shù)據(jù)（包含更多信息，比如NA值、WPH、套刻精度等）的EXCEL表格，我會放到我的星球社區(qū)上如果大家對此有需求，歡迎加入。原價1998元，目前優(yōu)惠666元后，實際價格1332元。