半導(dǎo)體設(shè)備種類繁多,國產(chǎn)攻堅的任務(wù)繁重,但它們面臨的難題有其共性。本文以小見大,僅以芯片量檢測設(shè)備來討論半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化攻堅的問題。芯片量檢測設(shè)備可細(xì)分為檢測(Inspection)和量測(Metrology)兩大環(huán)節(jié)。檢測指在晶圓表面上或電路結(jié)構(gòu)中,檢測其是否出現(xiàn)異質(zhì)情況,如顆粒污染、表面劃傷、開短路等對芯片工藝性能具有不良影響的特征性結(jié)構(gòu)缺陷;