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2018 年，半導體行業(yè)迎來一波 IPO 熱潮，到如今這股熱潮似乎仍未褪去，2019 年 1 月 8 日，中微半導體與海通證券、長江證券簽署輔導協(xié)議進行上市輔導備案。國產半導體設備的翹楚——中微半導體亦在為 IPO 作準備。
美國、日本、荷蘭是世界半導體制造業(yè)的三大強國，占據全球市場份額的 70%以上，只剩下不到 30%的“蛋糕”供其它企業(yè)瓜分，中微半導體即在其中。
本篇文章就來給大家介紹一下?lián)屖车案獾闹形雽w及其發(fā)展歷程。
中微半導體能吃下多少蛋糕？
中微半導體作為國家大基金成立后投資的首個企業(yè)，如今已成為當今國內技術最領先的高端芯片設備企業(yè)。其中，中微半導體的介質刻蝕設備、硅通孔刻蝕設備、MOCVD 設備等均已成功進入海內外多家大客戶供應體系，包括臺積電、兆馳半導體、乾照光電、聚燦光電、德豪潤達、士蘭明芯、中芯國際等國內外大廠。
中微半導體通過創(chuàng)新驅動自主研發(fā)的等離子體刻蝕設備和硅通孔刻蝕設備已在國際主要芯片制造和封測廠商的生產線上廣泛應用于 45nm 到 7nm 及更先進的加工工藝和最先進的封裝工藝。
經過數(shù)十年的打磨，在全球可量產的最先進晶圓制造 7nm 生產線上，中微半導體是被驗證合格、實現(xiàn)銷售的全球五大刻蝕設備供應商之一，已發(fā)展為與泛林、應用材料、東京電子、日立 4 家美日企業(yè)工藝水平相當?shù)膰H第一梯隊，一起為 7nm 芯片生產線供應刻蝕機，并進入到 5nm 工藝設備研發(fā)階段。
去年 12 月，中微半導體自主研發(fā)的 5nm 等離子體刻蝕機通過臺積電驗證，將用于臺積電全球首條 5nm 制程生產線，可見在刻蝕機技術方面，中微半導體已走在了世界前列。中微半導體是唯一進入臺積電 7nm 制程蝕刻設備的大陸本土設備商。在此之前，作為芯片制造的關鍵裝備之一，中微半導體打入臺積電供應鏈始于 28nm 制程產品，并一直延續(xù)到 10nm 和 7nm 制程。
刻蝕機曾是一些發(fā)達國家的出口管制產品，隨著中國突破了“卡脖子”的技術，刻蝕機近年來逐漸在出口管制名單上消失，出口限制已不復存在。
中微半導體的來時路
站在如今輝煌的節(jié)點，讓我們一起倒退回 15 年前的 2004 年，曾在美國應用材料公司任職 13 年，專注于等離子體刻蝕設備的研發(fā)的尹志堯博士與三十多位在應用材料、科林等國際巨頭有著 20—30 年半導體設備研發(fā)制造的經驗的資深工程師一同回國創(chuàng)辦了中微半導體，注冊資本 4.81 億元。
中微半導體是國內首家加工亞微米及納米級大規(guī)模集成線路關鍵設備的公司，主要深耕于集成電路刻蝕機領域，研制出中國大陸第一臺電介質刻蝕機。并一直致力于為全球集成電路和 LED 芯片制造商提供領先的加工設備和工藝技術解決方案。
尹志堯作為中微半導體董事長兼首席執(zhí)行官，據了解，其曾在美國硅谷工作長達 20 余年，長期致力于半導體芯片制造微加工設備的開發(fā)及產品管理，是幾代等離子體刻蝕技術及設備的主要發(fā)明人和工業(yè)化應用的推動者。
作為芯片生產制造的重要設備，等離子刻蝕機用來按光刻機刻出的電路結構，在硅片上進行微觀雕刻，刻出溝槽或接觸孔的設備。在尹志堯的帶領下，中微半導體很快開發(fā)出第一臺國產的生產半導體芯片的設備——等離子體刻蝕機。
在當時，世界上最先進的芯片生產線是 90 納米制程，但中微半導體從創(chuàng)立之初，就開展精度更高的納米刻蝕機研發(fā)。它先推出了 65nm 等離子介質刻蝕機產品，隨著技術的進步發(fā)展，陸續(xù)將產品制程從 45nm 逐漸降到 32nm、28nm、16nm 一直到如今的 7nm。
目前，正在亞洲地區(qū) 50 多條國際領先的生產線上運行的中微反應臺（包括介質刻蝕、TSV、MOCVD）已超過 900 個。中微半導體開發(fā)的用于 LED 和功率器件外延片生產的 MOCVD 設備不僅已在客戶生產線投入量產，而且已成為在藍光 LED 市場占有率最大的領先設備。
“革命尚未成功，同志仍需努力”
工商資料顯示，中微半導體此前完成了四輪融資。2004 年 9 月，它獲得天使輪投資，投資方為科投集、ADVANCED MICRO-FABRICATION EQUIPMENT INC；2016 年 12 月，中微半導體完成 A 輪融資，投資方為自貿區(qū)基金、國家集成電路產業(yè)基金、中金公司、興橙投資、臨芯投資；2018 年 2 月，它又獲得 B 輪投資，投資方為四川雙馬、興橙投資、臨芯投資；2018 年 7 月，其 C 輪融資完成，投資方包括自貿區(qū)基金、浦東新產投、協(xié)鑫集團、國開創(chuàng)新資本等。
眾所周知，集成電路產業(yè)是資金、技術密集型產業(yè)，尤其設備企業(yè)往往需要花費巨額的研發(fā)費用，中微半導體雖然已進行了數(shù)期融資，也獲得了國家大基金的投資，但若要保持長久發(fā)展以及保障后續(xù)產品開發(fā)及規(guī)模擴張，上市無疑是其必然選擇。
縱觀國內半導體設備企業(yè)，長川科技、北方華創(chuàng)等均已登陸國內資本市場，如今中微半導體也將踏上 IPO 征程。
縱觀整體而言，大陸刻蝕設備國產化率仍相對較低，在巨大的成長空間下，“革命尚未成功，同志仍需努力”也算是對中微半導體的一份期望，對國產設備廠商的一種殷實期盼。
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