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張通社 zhangtongshe.com
在行業(yè)經(jīng)歷周期低谷的當(dāng)下，張江科學(xué)城這家半導(dǎo)體設(shè)備公司的成績(jī)單依然很閃耀：據(jù)中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱“中微公司”）年報(bào)顯示，2023年前三季度公司實(shí)現(xiàn)營業(yè)收入40.41億元，同比增長(zhǎng)32.8%；實(shí)現(xiàn)歸母凈利潤(rùn)11.6億元，同比增長(zhǎng)46.27%。
并且，更為不易的是，在過去的十年，中微公司持續(xù)保持著高速增長(zhǎng)：從2012年到2022年，十年平均年?duì)I業(yè)收入一直保持高于35%的增長(zhǎng)率。
中微公司由尹志堯創(chuàng)立，總部位于上海浦東。經(jīng)過19年的長(zhǎng)跑，在2022年全球刻蝕設(shè)備市場(chǎng)排名中，中微公司排名第四位，前三位是三家老牌海外巨頭。
由于刻蝕機(jī)門檻高、技術(shù)難度大，作為后起之秀的中微公司實(shí)屬不易。“5納米制造工藝的芯片，相當(dāng)于人的頭發(fā)絲直徑差不多一萬三千分之一那么小的尺度?？涛g機(jī)就是在這樣的尺度上進(jìn)行雕刻?！?/strong>中微公司創(chuàng)始人、董事長(zhǎng)兼總經(jīng)理尹志堯這樣向媒體形容刻蝕機(jī)的用途，表達(dá)了其技術(shù)的難度和重要性。
在巨頭的夾縫中堅(jiān)持創(chuàng)新，實(shí)現(xiàn)從65納米到5納米工藝全覆蓋
時(shí)光回到2000年前后，尹志堯已是一位在硅谷工作近20年、擁有豐富的半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)經(jīng)驗(yàn)領(lǐng)域的資深專家。當(dāng)他看到國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的歷史機(jī)遇，毅然選擇回國并主導(dǎo)創(chuàng)立了中微公司，從零開始自主研發(fā)刻蝕機(jī)設(shè)備。
什么是刻蝕機(jī)？與光刻機(jī)有何區(qū)別？半導(dǎo)體芯片制造工藝的復(fù)雜程度極高，涉及數(shù)千道工序和大量專業(yè)設(shè)備。簡(jiǎn)單來說，光刻機(jī)的用途是將芯片設(shè)計(jì)電路結(jié)構(gòu)通過光線投射到半導(dǎo)體晶圓上，而刻蝕機(jī)則通過化學(xué)或物理方法去除晶圓表面不必要的部分，實(shí)現(xiàn)微觀雕刻。如果將光刻機(jī)比作木匠用墨線在木板上畫線，那刻蝕機(jī)就相當(dāng)于在木板上按照墨線的痕跡雕花。
因此，也可以說，刻蝕機(jī)是僅次于光刻機(jī)的重要半導(dǎo)體設(shè)備，復(fù)雜難度絲毫不亞于光刻機(jī)。
據(jù)SEMI 2021年數(shù)據(jù)顯示，總額達(dá)到875億美元規(guī)模的晶圓制造設(shè)備市場(chǎng)中，刻蝕機(jī)的占比約為20%。
刻蝕機(jī)的重要性，無需贅言。
20年前的張江，掀起了一波海外人才歸國創(chuàng)業(yè)的高潮，其中就包括尹志堯等中國半導(dǎo)體行業(yè)的“開拓者”。在行業(yè)發(fā)展和政策支持的大背景下，中芯國際、華虹半導(dǎo)體以及中微公司等中國半導(dǎo)體頭部企業(yè)也相繼在這一時(shí)期在張江成立。
剛成立之際，僅用3年時(shí)間，中微公司就研制成功中國第一臺(tái)CCP（電容性耦合的等離子體源）刻蝕機(jī)，實(shí)現(xiàn)了零的突破，填補(bǔ)了國內(nèi)的空白。
面對(duì)體量、研發(fā)投入、市場(chǎng)認(rèn)知度都相差甚遠(yuǎn)的海外老牌巨頭，中微公司如何打破如此不對(duì)等的競(jìng)爭(zhēng)局面？
尹志堯特別強(qiáng)調(diào)了“產(chǎn)品布局”和“技術(shù)創(chuàng)新”。
首先，在產(chǎn)品的合理布局，中微公司主要聚焦在半導(dǎo)體芯片制造設(shè)備行業(yè)中最關(guān)鍵的設(shè)備上。所從事的等離子體刻蝕設(shè)備和化學(xué)薄膜設(shè)備是集成電路前道設(shè)備市場(chǎng)最大的兩種設(shè)備，特別是等離子體刻蝕設(shè)備是制程步驟最多、工藝過程開發(fā)難度最高、市場(chǎng)增長(zhǎng)最快的設(shè)備，占半導(dǎo)體前道設(shè)備總市場(chǎng)的約22%。
同時(shí)，在產(chǎn)品開發(fā)、設(shè)計(jì)和制造過程中，中微公司堅(jiān)持“創(chuàng)新”和“差異化”，。尹志堯表示，中微公司不走海外巨頭老路，而是選擇全新的技術(shù)路徑和方向，從零開始實(shí)現(xiàn)技術(shù)突破，走上一條獨(dú)立自主發(fā)展道路。
例如，在CCP電容性高能等離子體刻蝕設(shè)備的研發(fā)過程中，開創(chuàng)性地推出了甚高頻去耦合等離子體刻蝕技術(shù)；在ICP電感性低能等離子體源的開發(fā)過程中，設(shè)計(jì)了新型電感線圈架構(gòu)，以減少電容性耦合引起的不良作用……
后來，中微公司運(yùn)用這種思路，陸續(xù)開發(fā)了關(guān)鍵設(shè)備品類：導(dǎo)體化學(xué)薄膜沉積設(shè)備LPCVD（低壓化學(xué)氣相沉積）和外延設(shè)備EPI。以及通過投資布局了集成電路第四大設(shè)備市場(chǎng)——光學(xué)檢測(cè)設(shè)備。
成立至今，中微公司自研的刻蝕機(jī)產(chǎn)品完成了從65納米到5納米工藝的全面覆蓋，與全球高精度光刻機(jī)的匹配，滿足行業(yè)和客戶對(duì)先進(jìn)制程芯片不斷提升的需求，以此成功打入海外市場(chǎng)。
戰(zhàn)略、組織、人才三板斧聯(lián)動(dòng)，從浦東崛起，海外市場(chǎng)占到75%
技術(shù)和產(chǎn)品有賴于人才和組織來實(shí)現(xiàn)，中微公司的戰(zhàn)略、組織和人才三板斧是如何聯(lián)動(dòng)的？在2023浦東國際人才港論壇上，中微公司集團(tuán)副總裁何奕做了主題為《企業(yè)國際競(jìng)爭(zhēng)下的人才全球化發(fā)展及應(yīng)對(duì)策略》的演講，或許能從中總結(jié)一二。
何奕表示，中微公司在組織治理上尤其關(guān)注兩點(diǎn)：第一，盡最大的努力發(fā)揮每個(gè)個(gè)體的積極性；第二，盡最大的努力降低內(nèi)耗。在人才激勵(lì)、考核、培養(yǎng)上，中微公司都有自己的特點(diǎn)。
在激勵(lì)措施上，在中微公司的組織文化中，堅(jiān)信每個(gè)人都有價(jià)值，到今天為止，公司依然是全員持股?！懊磕旯善钡挠?jì)劃是全員覆蓋的，我們覆蓋到司機(jī)、前臺(tái)、秘書?！焙无戎v道。
在考核上，中微公司尤其看重管理者的擔(dān)當(dāng)，這是中微公司的管理特色?！安灰衙^指向兵，這個(gè)人不好為什么不找領(lǐng)導(dǎo)的問題？作為管理者，責(zé)任是要發(fā)揮每個(gè)人最大的積極性，而不是說員工不好，然后把他推給HR，讓HR來采取措施?！焙无缺硎?。
而在晉升機(jī)制上，卻不只是領(lǐng)導(dǎo)說了算，而是要得到周圍同事的認(rèn)可，包括上級(jí)、下級(jí)和協(xié)同崗位的同事等。
此外，在組織文化中，中微公司注重搭建與海外溝通的環(huán)境?！拔覀兊膯T工高頻次跟海外員工溝通的環(huán)境搭起來了，自然而然就構(gòu)建了全球化的模型?！焙无确窒碚f。
在人才培養(yǎng)方面，中微公司注重內(nèi)部培養(yǎng)。“過去幾年，我們持續(xù)發(fā)力招聘應(yīng)屆生，今年大概收到三四千份簡(jiǎn)歷，最后招聘120-150個(gè)，大概90%是技術(shù)崗位，70%-80%都是博士生，主要學(xué)科是物理、化學(xué)、材料、機(jī)械這些非?；A(chǔ)的學(xué)科，中微公司有自己的人才密碼?！?/strong>
據(jù)中微公司官網(wǎng)顯示，目前在日本、韓國、北美、中國臺(tái)灣等地都建立了公司?！白寚H化人才愿意加入中微（公司），以及讓他能在這個(gè)地方發(fā)展起來，這是背后的邏輯更重要一點(diǎn)?！?/p>
何奕分享說，中微公司從剛成立開始就是著眼全球發(fā)展。“賣設(shè)備，不像快消品，很多公司成立、投入十年，還沒有太多回報(bào)，這個(gè)時(shí)候就看公司的戰(zhàn)略定力在什么地方。我們?cè)陧n國、日本、美國、新加坡、歐洲都有辦公室，有些地方終于看到了一些突破。我們很高興，在全球制裁中國半導(dǎo)體設(shè)備的時(shí)候，（中微公司）反向出口到海外了，證明我們自己的實(shí)力，但是這個(gè)過程當(dāng)中，真的需要公司有戰(zhàn)略定力?！?/p>
據(jù)何奕分享，海外市場(chǎng)已成為中微公司另一個(gè)主要市場(chǎng)?！澳壳凹呻娐吩O(shè)備市場(chǎng)中國大陸占25%，海外市場(chǎng)占75%。”
布局三維發(fā)展戰(zhàn)略，外拓至泛半導(dǎo)體設(shè)備關(guān)鍵領(lǐng)域
尹志堯認(rèn)為，對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)來說，單一的產(chǎn)品、單一的產(chǎn)業(yè)布局，面對(duì)行業(yè)發(fā)展周期的波動(dòng)，很難保證持續(xù)穩(wěn)定的發(fā)展，時(shí)刻有遭遇風(fēng)險(xiǎn)和危機(jī)的可能?！霸诠疽?guī)模小的時(shí)候，我們好似在海底游泳的魚，海面上的風(fēng)浪起伏對(duì)我們影響不大，但現(xiàn)在當(dāng)我們的市場(chǎng)份額越來越大，逐漸浮向海面，就會(huì)對(duì)這類波動(dòng)更加敏感?！?/p>
因此，站在今天這個(gè)時(shí)間點(diǎn)上，尹志堯看重這幾個(gè)關(guān)鍵詞：高速、穩(wěn)定、健康、安全。
“其實(shí)，從1984年到2022年，全球芯片生產(chǎn)線的投資變化率一直呈現(xiàn)大起大伏的周期性?！币緢蚪榻B，為了減少企業(yè)發(fā)展的大起大落，中微公司已開啟“三維發(fā)展、有機(jī)生長(zhǎng)、外延擴(kuò)展”的道路。
憑借在微觀加工領(lǐng)域的硬核實(shí)力，中微公司除了在刻蝕機(jī)、薄膜機(jī)、檢測(cè)機(jī)等集成電路設(shè)備領(lǐng)域做大做強(qiáng)外，還拓展關(guān)注在太陽能電池、LED顯示和照明、傳感器等泛半導(dǎo)體設(shè)備關(guān)鍵領(lǐng)域的應(yīng)用，并積極探索環(huán)境保護(hù)、大健康、企業(yè)網(wǎng)絡(luò)等戰(zhàn)略新興領(lǐng)域的發(fā)展機(jī)會(huì)。
“十幾年前，MOCVD設(shè)備是用來加工LED照明芯片的?！币緢蛘f，經(jīng)過近20年的飛速發(fā)展，MOCVD成為了目前半導(dǎo)體化臺(tái)物材料制備的關(guān)鍵技術(shù)之一。中微公司提前分析研判，在進(jìn)入該領(lǐng)域短短一年的時(shí)間內(nèi)，實(shí)現(xiàn)在全球MOCVD的市場(chǎng)占有率從5%迅速提升至70%，并迅速發(fā)展成為全球市占率第一的MOCVD設(shè)備供應(yīng)商，提升了公司營運(yùn)抗風(fēng)險(xiǎn)周期波動(dòng)的能力。
為了保持高速、穩(wěn)定、健康、安全的發(fā)展，中微公司始終瞄準(zhǔn)世界科技前沿，持續(xù)踐行三維發(fā)展戰(zhàn)略。尹志堯說，在規(guī)模和競(jìng)爭(zhēng)力上公司都要成為國際一流的半導(dǎo)體設(shè)備和高科技領(lǐng)先企業(yè)。
文字：張大紅
編輯：楊悅鋮
校對(duì)：任甄妮
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