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1. 生產(chǎn)晶圓（PW）
生產(chǎn)晶圓是直接參與產(chǎn)品制造的晶圓。它們用于最終生產(chǎn)和銷售的產(chǎn)品，有兩類：
量產(chǎn)晶圓（Productive Wafer）：這些晶圓是量產(chǎn)產(chǎn)品的基礎(chǔ)，最終會被加工、測試并賣給客戶，通常是標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品。
工程晶圓（Engineer Wafer）：它們用于試產(chǎn)，可能是在新工藝或者新產(chǎn)品的開發(fā)階段。這類晶圓用于驗證新設(shè)計、工藝參數(shù)調(diào)整或者是小規(guī)模的實驗生產(chǎn)，測試結(jié)果直接影響到后續(xù)量產(chǎn)。
2. 非生產(chǎn)晶圓（NPW）
非生產(chǎn)晶圓則不直接參與最終產(chǎn)品的生產(chǎn)，它們主要用于廠內(nèi)的監(jiān)控、測試和設(shè)備優(yōu)化，具體包括：
控?fù)跗∕onitor Wafer）：它們的主要任務(wù)是監(jiān)控設(shè)備狀態(tài)，比如刻蝕速率或薄膜均勻度。可以理解為“健康監(jiān)測儀器”，通過對機(jī)臺狀態(tài)的監(jiān)測，確保設(shè)備保持最佳性能。
暖機(jī)片（Season Wafer）：它們用于設(shè)備的預(yù)熱或冷卻，幫助設(shè)備穩(wěn)定運(yùn)行。例如，機(jī)臺長時間空閑后，可能需要用暖機(jī)片進(jìn)行加熱，以確保在運(yùn)行時的穩(wěn)定性。
填充片（Dummy Wafer）：這些晶圓并不進(jìn)行實際的產(chǎn)品加工，而是用于設(shè)備中填充空缺，確保設(shè)備在運(yùn)行時不會出現(xiàn)空缺影響。例如，在爐管或刻蝕過程中，由于設(shè)備的操作特性，可能需要填充片來保持工藝的穩(wěn)定性。
總結(jié)來說，PW是與產(chǎn)品制造緊密相關(guān)的晶圓，而NPW則更多地用于保障生產(chǎn)過程的順暢，確保設(shè)備和工藝的穩(wěn)定性。兩者的主要區(qū)別在于是否直接參與產(chǎn)品的最終加工和銷售。
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