ASML的光刻機(jī)型號(hào)匯總(上)

知識(shí)星球（星球名：芯片制造與封測(cè)技術(shù)社區(qū)，星球號(hào)：63559049）里的學(xué)員問：ASML的光刻機(jī)有哪些型號(hào)，最近要做相關(guān)的報(bào)告，麻煩幫忙總結(jié)下。ASML，全名?ASML Holding NV,荷蘭跨國(guó)公司，成立于 1984 年。是半導(dǎo)體行業(yè)最大的設(shè)備供應(yīng)商，也是全球唯一一家生產(chǎn)極紫外光刻機(jī)(EUV) 的廠商。

ASML的光刻機(jī)經(jīng)歷了幾個(gè)階段：

PAS 2000：首次引入自動(dòng)步進(jìn)對(duì)準(zhǔn)技術(shù)。

PAS 5000：提高分辨率和疊層精度。

PAS 5500，1991年發(fā)布：實(shí)現(xiàn)掃描式光刻，提升生產(chǎn)效率。

Twinscan XT,NXT?：雙工作臺(tái)技術(shù)，顯著提高WPH。

Twinscan?NXE EUV，2013年推出：采用極紫外光刻（EUV），支持亞20 nm制程節(jié)點(diǎn)。

根據(jù)型號(hào)不同我單獨(dú)做了一個(gè)表格：

由于工作量巨大，只上傳了G線，i線系列，下一期會(huì)將Twinscan中常見的ArF浸沒式，EUV光刻機(jī)羅列出來。

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