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傳中微5nm刻蝕設備獲臺積電正式訂單

06/25 11:59
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據(jù)可靠業(yè)內人士透露,臺積電南京廠已向中微半導體設備(上海)股份有限公司下單采購?10 臺 5nm 介質刻蝕機,這些設備預計于 2026 年第一季度正式交付。

作為全球最大的晶圓代工廠商,臺積電在芯片制造領域一直處于行業(yè)領先地位,對設備供應商的技術實力、產品質量與穩(wěn)定性有著極為嚴苛的要求。中微公司此次能夠成功打入臺積電 5nm 制程供應鏈,背后是多年來持續(xù)不斷的技術創(chuàng)新與研發(fā)投入。早在 2018 年底,中微公司就對外透露,其自主研發(fā)的 5nm 等離子體刻蝕機已通過臺積電驗證,性能優(yōu)良。歷經(jīng)數(shù)年打磨,如今正式獲得訂單,彰顯了中微在該領域技術的成熟與可靠。

刻蝕設備是芯片制造過程中的關鍵裝備之一,其作用如同微觀世界里的 “雕刻師”,負責在芯片上精準地刻蝕出復雜的電路結構。隨著芯片制程工藝不斷向更小尺寸邁進,對刻蝕設備的精度、效率以及工藝控制能力等提出了近乎苛刻的要求。5nm 制程代表著當前芯片制造的最先進水平,能夠生產出性能更強大、功耗更低的芯片產品,廣泛應用于高性能計算、人工智能5G 通信等前沿科技領域。

中微公司的 5nm 刻蝕設備具備諸多技術優(yōu)勢。在工藝可調性與穩(wěn)定性方面表現(xiàn)卓越,能夠滿足先進制程對復雜工藝步驟的嚴格要求;其配備的可切換雙低頻射頻源、優(yōu)化的氣流分布和溫控系統(tǒng),有效提升了刻蝕過程的均勻性與精準度;擁有自主知識產權涂層技術的抗腐蝕反應倉,不僅增強了設備的耐用性,還具備一體整合的除膠能力及表面電荷減除能力;自主研發(fā)的四區(qū)動態(tài)靜電吸盤,可對每一制程步驟獨立進行控溫,進一步確保了更高的刻蝕均勻度與刻蝕選擇比,從而極大地提高了生產效率,降低了生產成本。

多年來,其憑借深厚的技術積累和創(chuàng)新精神,在刻蝕設備領域不斷突破。從 65nm 等離子介質蝕刻機開始,逐步攻克 45nm、32nm、28nm、16nm、10nm、7nm 等關鍵制程技術,每一次技術跨越都凝聚著研發(fā)團隊的智慧與心血。如今 5nm 刻蝕設備獲得臺積電訂單,更是證明了中微在全球半導體設備競爭格局中已占據(jù)重要一席。

 

關于南京臺積電:

臺積電(南京)有限公司,是臺積電在大陸的重要布局,于 2016 年登記成立,總投資約 30 億美元,是臺商在大陸投資單體總量最大的項目之一。

該工廠位于南京江北新區(qū),建設效率驚人,14 個月建成廠房,6 個月產出首片晶圓,創(chuàng)造了臺積電成立 32 年來的多項紀錄。2018 年 10 月 31 日正式量產,以 12nm 及 16nm 制程技術為主,是大陸首座實現(xiàn) 12nm 制程量產的 12 英寸晶圓廠,大幅提升了大陸本地晶圓代工水平。

面對全球芯片結構性需求增長,尤其是車用芯片短缺引發(fā)的供應難題,2021 年臺積電董事會批準資本預算,在南京廠利用現(xiàn)有廠房,快速構建月產 4 萬片的 28nm 產能。新產能于 2022 年下半年逐步投產,2023 年年中達到月產 4 萬片規(guī)模,加上原有的 2 萬片 16nm 產能,南京廠產能顯著提高,有力滿足了全球客戶對成熟制程芯片的迫切需求。

 

關于中微半導體:

中微半導體設備(上海)股份有限公司,是國內半導體設備領域的領軍企業(yè)。2004 年成立之初,僅有 15 人團隊,經(jīng)過多年拼搏,如今全球員工超兩千人。2019 年,中微公司作為首批企業(yè)登陸科創(chuàng)板。

中微在刻蝕設備研發(fā)上成果卓著,從微米邁向納米,直至皮米級精度,相當于頭發(fā)絲 350 萬分之一的精準度。其 CCP 高能與 ICP 低能等離子體刻蝕設備,已覆蓋國內 95% 以上刻蝕需求,且在 5 納米及更先進制程的國際領先產線規(guī)模量產。2024 年,刻蝕設備收入約 72.77 億元,近四年年均增速超 50% 。

在泛半導體領域,中微的 MOCVD 設備占據(jù)氮化鎵基 LED 照明設備 80% 以上份額,并積極開拓碳化硅功率器件、Micro - LED 等新興領域。同時,公司積極布局新設備研發(fā),在研超 20 款,包括薄膜設備、電子束量檢測設備等。2024 年,公司營收超 90 億元,研發(fā)投入約 24.52 億元,占比達 27.05%,大幅縮短設備開發(fā)周期。

中微還積極投資產業(yè)鏈上下游 30 多家企業(yè),實現(xiàn)良好經(jīng)濟效益與戰(zhàn)略協(xié)同,參股的 8 家公司已 A 股上市。如今,中微不僅是國內翹楚,更是國際半導體設備產業(yè)中一顆耀眼新星 。

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