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從濺射靶材到設(shè)備零部件，從IC測試分選機(jī)到封裝設(shè)備，從小小的元器件到廣闊的應(yīng)用市場……在第二十一屆中國國際半導(dǎo)體博覽會（IC China 2024）的展覽現(xiàn)場，觀眾可通過一日游歷芯片一生的足跡。相較往年，今年的IC China更像是中國半導(dǎo)體行業(yè)交出的一份年度“成績單”：材料、設(shè)備、封裝，各項環(huán)節(jié)的參與更加深入，成果有目共睹。
設(shè)備材料更加精細(xì)化
寧波江豐電子材料有限公司（以下簡稱“江豐電子”）是IC China的老朋友了。超大規(guī)模集成電路制造用超高純材料及濺射靶材是江豐電子的主營和優(yōu)勢業(yè)務(wù)。今年，江豐電子的展品，除了半導(dǎo)體靶材，還增添了設(shè)備零部件這一新面孔。江豐電子總工程師王學(xué)澤在接受《中國電子報》記者采訪時表示，江豐電子的設(shè)備零部件業(yè)務(wù)大概自10年前開始布局，自2019年年底開始實現(xiàn)快速增長，該板塊業(yè)務(wù)每年營收同比增長超過50%。
近年來，江豐電子多個生產(chǎn)基地陸續(xù)投產(chǎn)，大量新品完成技術(shù)攻關(guān)。其中，氣體分配盤和硅電極等多款零部件放量迅速。成立于2016年的鎂伽科技，是一家集成電路制造量檢測和工藝切割一體化解決方案提供商，也是IC China的一位新朋友。此次鎂伽展臺最具代表性的產(chǎn)品，是一款全自動Overlay（套刻精度）量測設(shè)備。該設(shè)備主要應(yīng)用在集成電路制造光刻工藝段。
集成電路的制造需要經(jīng)過多道光刻工藝，套刻量測在集成電路制造過程中扮演著重要的角色，被譽為“光刻機(jī)的眼睛”，是芯片制造過程中各層圖案精準(zhǔn)對齊的有力保證。量測結(jié)果一方面會反饋給光刻機(jī)，幫助其在下一次光刻時進(jìn)行校正、糾偏；另一方面可輔助實現(xiàn)產(chǎn)線日常性能監(jiān)控。
隨著封測環(huán)節(jié)疊片工藝復(fù)雜程度日益提高，工藝技術(shù)要求日趨提升，應(yīng)用在疊片工藝的雙面套刻量測設(shè)備的需求也在提升。區(qū)別于單面套刻量測設(shè)備，雙面套刻量測設(shè)備除了晶圓正面有一組高精度光學(xué)取像模塊以外，還在晶圓背面增設(shè)了一組光學(xué)取像模塊，同時還配備了紅外成像功能。
鎂伽科技戰(zhàn)略市場中心市場總監(jiān)陳小軍在接受《中國電子報》記者采訪時表示：“鎂伽科技是國內(nèi)首家推出雙面套刻量測設(shè)備的廠商，該設(shè)備在MEMS制造領(lǐng)域和封測疊片工藝中得到了廣泛的應(yīng)用。未來，雙面套刻設(shè)備在整個套刻量測設(shè)備市場中占有的比重將不斷增加，占比有望達(dá)到20%以上?！?/p>
制造封裝更加智能化
過往的IC China展出的側(cè)重點更多在產(chǎn)品，而今年的IC China，記者看到了生產(chǎn)方式的革新。工業(yè)生產(chǎn)數(shù)字化、智能化升級已經(jīng)在機(jī)械制造、冶金、服裝生產(chǎn)等諸多傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)當(dāng)中實現(xiàn)了廣泛應(yīng)用。今年，展商展出了針對半導(dǎo)體制造、封裝行業(yè)的自動化、數(shù)字化應(yīng)用場景。華為展示了針對半導(dǎo)體設(shè)計、制造與封裝工廠的一攬子智慧工廠與數(shù)字化平臺解決方案。
在網(wǎng)絡(luò)安全方面，既可提供高可靠、低時延生產(chǎn)網(wǎng)絡(luò)，保證生產(chǎn)的不間斷，又可保證網(wǎng)絡(luò)的安全，提供防止病毒勒索入侵的能力，避免客戶數(shù)據(jù)受到外部攻擊；面向封測企業(yè)的外觀視覺檢測環(huán)節(jié)，在原有光學(xué)檢測的基礎(chǔ)上，引入AI技術(shù)，可將檢測準(zhǔn)確率從80%提升至99%以上；在智慧廠務(wù)方面，可基于華為數(shù)據(jù)平臺對制造工廠的廠區(qū)設(shè)施做集中的管理與監(jiān)控，從而達(dá)到提升制造企業(yè)能效的作用。
華為半導(dǎo)體解決方案架構(gòu)師王飛在接受《中國電子報》記者采訪時表示：“華為基于全棧自主創(chuàng)新的ICT 基礎(chǔ)設(shè)施，聯(lián)合合作伙伴的CIM （計算機(jī)集成制造系統(tǒng)）軟件，幫助半導(dǎo)體制造企業(yè)構(gòu)建自動化產(chǎn)線，為企業(yè)提供了高性能、高可靠、高安全的半導(dǎo)體制造CIM 解決方案?！背纱萍迹ㄌK州）有限公司（以下簡稱“成川科技”）展出了半導(dǎo)體自動物料搬運系統(tǒng)（AMHS）整體解決方案，在包括半導(dǎo)體封裝在內(nèi)的多個行業(yè)場景內(nèi)應(yīng)用天車系統(tǒng)。
在接受《中國電子報》記者采訪時，成川科技市場銷售部總監(jiān)張昕鑫表示：“我們的業(yè)務(wù)涵蓋產(chǎn)線整體規(guī)劃設(shè)計、自動化設(shè)備的研發(fā)生產(chǎn)及軟件系統(tǒng)的開發(fā)等，能夠?qū)崿F(xiàn)半導(dǎo)體生產(chǎn)線物料的無塵自動搬運，滿足半導(dǎo)體的精密化生產(chǎn)，從而幫助客戶提升整體生產(chǎn)效率?！?/p>
作者丨姬曉婷編輯丨張心怡美編丨馬利亞監(jiān)制丨連曉東
