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MEMS，即微電子機械系統(tǒng)，是一種新興的技術(shù)領(lǐng)域，它將微電子技術(shù)和機械工程相結(jié)合，制造出可以在微米級別下操作的微小機械元件，通常由集成電路、傳感器、執(zhí)行機構(gòu)、控制電路和封裝構(gòu)成。MEMS技術(shù)不僅在微型化方面有著廣泛應(yīng)用，而且可以與其他技術(shù)相結(jié)合，形成復(fù)合系統(tǒng)達到更高性能與效率。
1.MEMS是什么
MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems）意為微電子機械系統(tǒng)。它通過微電子加工技術(shù)在微米或亞微米尺度上設(shè)計、制造、加工、調(diào)試和應(yīng)用各種機械加工結(jié)構(gòu)、微機械系統(tǒng)和精密傳感器等微縮器件。由于MEMS器件的特殊制造方法和結(jié)構(gòu)，使得該類微器件具備很多傳統(tǒng)機械器件所不具備的優(yōu)點，如具有更強的穩(wěn)定性、可靠性和更小的尺寸等。
2.MEMS的特點
MEMS的最大特點就是微型化，其體積和重量普遍較小，可與微處理器等集成制造，具備智能化和自適應(yīng)性。MEMS還有很高的靈敏度、低功耗和高穩(wěn)定性。另外，由于其獨特的構(gòu)造和物理特性，MEMS可以通過微細加工實現(xiàn)非常微弱的電學(xué)、光學(xué)、熱學(xué)和機械效應(yīng)，它在諸如顏色分選、氣體傳感、生命科學(xué)等重要應(yīng)用場合中表現(xiàn)出優(yōu)異的性能。
3.MEMS的主要應(yīng)用
隨著MEMS制造技術(shù)的發(fā)展，MEMS已被廣泛應(yīng)用于精密儀器、通信系統(tǒng)、信息處理、生物醫(yī)藥、汽車電子和航空航天等領(lǐng)域。具體地，MEMS的應(yīng)用領(lǐng)域包括但不限于以下幾個方面：
- 傳感器技術(shù)領(lǐng)域：壓力傳感器、流量計、陀螺儀、加速計、氣體傳感器等；
- 光電子器件領(lǐng)域：數(shù)字投影、掃描顯示、光纖通信、FBG傳感器等；
- 微機器人技術(shù)領(lǐng)域：微型仿生機器人、微機器人組件等；
- 生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域：DNA芯片、基因檢測、癌癥診斷、藥物篩選等；
- 汽車及航空電子技術(shù)領(lǐng)域：汽車安全氣囊、慣性導(dǎo)航系統(tǒng)、飛機黑匣子、傳動機構(gòu)等。
