我們今天看到80%以上的芯片都是用硅片生產(chǎn)的,而不是用今天熱門的碳化硅、砷化鎵、氮化鎵等材料生產(chǎn)。這是為什么?
1. 材料的選擇標準
在選擇用于生產(chǎn)芯片的材料時,需要考慮以下幾個主要因素:
電子特性:材料必須具備良好的半導體特性,能有效控制電子的運動。
晶體結(jié)構(gòu):材料需要具有高質(zhì)量的單晶結(jié)構(gòu),以減少缺陷和提高芯片的性能。
成本:材料的成本需要相對低廉,以便大規(guī)模生產(chǎn)。
加工性:材料需要易于加工和制備,能夠適應現(xiàn)有的制造工藝。
熱穩(wěn)定性:材料必須能夠承受制造過程中高溫環(huán)境下的性能變化。
圖:硅晶圓的SEMI標準
2. 硅作為首選材料的原因
2.1. 半導體特性
硅是一種非常優(yōu)秀的半導體材料,其帶隙為1.12 eV,適中且適合多數(shù)電子器件的工作需求。硅的電子遷移率和空穴遷移率也較為理想,適合制造高性能的芯片。
2.2. 晶體結(jié)構(gòu)
硅能夠通過直拉法(Czochralski法)和區(qū)熔法等工藝制備出高質(zhì)量的大尺寸單晶。硅晶體結(jié)構(gòu)完善,晶格缺陷少,有利于生產(chǎn)高性能的集成電路。
圖:硅晶圓的生產(chǎn)過程
2.3. 成本
硅是地殼中含量第二豐富的元素(約占26.7%),其原材料(石英)非常豐富且廉價。相較于其他半導體材料如砷化鎵(GaAs)和碳化硅(SiC),硅的提取和制備成本顯著較低。
2.4. 加工性
硅具有良好的機械強度和化學穩(wěn)定性,能夠承受復雜的制造工藝。現(xiàn)有的半導體制造工藝(光刻、擴散、離子注入等)都是基于硅材料開發(fā)的,因此硅晶圓的加工工藝成熟且成本低。
2.5. 熱穩(wěn)定性
硅在高溫下具有優(yōu)異的穩(wěn)定性,能夠在高達1100°C的溫度下保持其晶體結(jié)構(gòu)和性能穩(wěn)定。這使得硅能夠適應現(xiàn)代芯片制造中高溫工藝步驟的需求。
3. 其他材料的挑戰(zhàn)
盡管有其他材料如砷化鎵(GaAs)、碳化硅(SiC)和氮化鎵(GaN)等,它們也具備優(yōu)良的半導體特性,但它們在成本、加工性、熱穩(wěn)定性等方面存在一些挑戰(zhàn):
砷化鎵(GaAs):電子遷移率高,但材料脆性大,制造成本高,且不易制備大尺寸單晶。
碳化硅(SiC):帶隙寬,適合高溫高壓應用,但晶體生長困難,成本高。
氮化鎵(GaN):具有優(yōu)良的電子特性和熱穩(wěn)定性,但材料合成復雜,成本高。
其實,硅作為半導體材料具有多方面的優(yōu)勢,包括良好的半導體特性、高質(zhì)量的晶體結(jié)構(gòu)、低廉的成本、成熟的加工工藝和優(yōu)異的熱穩(wěn)定性。這些因素使得硅成為制造芯片的首選材料,盡管在特定應用領域其他材料也有其獨特的優(yōu)勢。