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張通社 zhangtongshe.com
“我覺得未來中國的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，特別是高科技的發(fā)展，一定需要在尊重知識產(chǎn)權(quán)的基礎(chǔ)上完成國際化。”對于集成電路如何健康發(fā)展，盛美半導(dǎo)體董事長王暉坦言道。
盛美半導(dǎo)體成立于2005年，是國內(nèi)少數(shù)具有一定國際競爭力的半導(dǎo)體專用設(shè)備供應(yīng)商。成立以來，盛美半導(dǎo)體始終堅持差異化競爭和創(chuàng)新的發(fā)展戰(zhàn)略，向全球集成電路制造、先進(jìn)封裝及其他客戶提供定制化的設(shè)備及工藝解決方案，其自主研發(fā)的SAPS、TEBO兆聲波清洗技術(shù)和Tahoe單片槽式組合清洗技術(shù)在全球范圍內(nèi)都是首創(chuàng)。
6月20日，在張通社和張江高科聯(lián)合舉辦的“聚焦國產(chǎn)新時代，賦能‘芯’質(zhì)生產(chǎn)力”2024長三角集成電路張江論壇上，王暉帶來了《尊重知識產(chǎn)權(quán)，差異化競爭，讓創(chuàng)新回歸本色》的主題分享。他強(qiáng)調(diào)，在快速發(fā)展的集成電路產(chǎn)業(yè)中，尊重知識產(chǎn)權(quán)是保障可持續(xù)創(chuàng)新和公平競爭的基石。
01、全球半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)正向中國轉(zhuǎn)移
“半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)會隨著芯片產(chǎn)業(yè)的生產(chǎn)線轉(zhuǎn)移?！蓖鯐熃榻B道。
上世紀(jì)70至80年代，全球主要的芯片廠都位于美國，許多核心的半導(dǎo)體設(shè)備也都設(shè)立在美國；到了上世紀(jì)80至90年代，設(shè)備產(chǎn)業(yè)重心逐漸向日本轉(zhuǎn)移，彼時，日本的芯片生產(chǎn)線開始崛起；90年代后期，設(shè)備產(chǎn)業(yè)重心又逐漸向中國臺灣、韓國等地區(qū)轉(zhuǎn)移。
隨著芯片在中國的興起，2014年至今，中國芯片生產(chǎn)規(guī)模迎來爆發(fā)式增長，中國半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)隨之快速發(fā)展。
“以ASML為例，我們可以清晰地看到其發(fā)展過程中幾個關(guān)鍵節(jié)點(diǎn)都與產(chǎn)業(yè)鏈有關(guān)?！蓖鯐煴硎荆珹SML從一家小公司成長為半導(dǎo)體設(shè)備巨頭，值得中國半導(dǎo)體企業(yè)學(xué)習(xí)。
1984年，ASML成立，推出第一個系統(tǒng)——PAS 2000步進(jìn)式光刻機(jī)；1986年，推出PAS2500步進(jìn)式光刻機(jī)；1995年成功推出PAS5500光刻機(jī)；1995，成功研制雙工作臺、浸沒式TWINSCANXT、TWINSCANNXT系列，一舉奠定光刻機(jī)領(lǐng)域的霸主地位；2000年，收購美國光刻機(jī)巨頭硅谷集團(tuán)，推出雙品圓臺技術(shù)。
2010年，ASML與臺積電開展EUV設(shè)備研究，推出第一臺極紫外（EUV）光刻工具原型；206年，收購了臺灣領(lǐng)先的電子束測量工具HMI；2020收購特殊玻璃制造商柏林格拉斯集團(tuán)；2019年，收購Mapper的知識產(chǎn)權(quán)資產(chǎn)；2017年，收購德國卡爾蔡司SMT股份有限公司，光刻機(jī)批量出貨。
“從ASML的歷程來看，其成功離不開對市場的跟蹤和對技術(shù)的執(zhí)著追求；此外，它注重全球式的供應(yīng)鏈，通過收購相關(guān)業(yè)務(wù)實(shí)現(xiàn)銷售額增長，成為全球光刻機(jī)龍頭?！蓖鯐熣J(rèn)為，與ASML相對的還有AMAT和LAM，前者采取平臺化策略，多領(lǐng)域覆蓋，抓住三次產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)移機(jī)會積極布局海外，通過外延并購豐富產(chǎn)品線，成為半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)的巨頭；后者以刻蝕設(shè)備起家，通過收購PECVD、清洗等設(shè)備制造商，成長為平臺型公司。
“中國半導(dǎo)體設(shè)備消耗量在2023年達(dá)到29%，2024年預(yù)計26%，2025年25%，2026年24%。若未來保持25-30%的設(shè)備需求，中國絕對可以培養(yǎng)自己的半導(dǎo)體設(shè)備龍頭企業(yè)?！蓖鯐煹恼Z氣堅定。
02、三大原創(chuàng)核心技術(shù)賦能清洗設(shè)備
在半導(dǎo)體設(shè)備的七大領(lǐng)域中，清洗設(shè)備的細(xì)分領(lǐng)域曾被國際寡頭百分之百壟斷，但如今，盛美半導(dǎo)體成為國內(nèi)這一設(shè)備領(lǐng)域的龍頭企業(yè)。據(jù)了解，盛美半導(dǎo)體產(chǎn)品的應(yīng)用領(lǐng)域覆蓋前道濕法、后道濕法、大硅片濕法、電鍍、爐管、PECVD、Track和拋光等工藝環(huán)節(jié)。
“我們的核心技術(shù)有空間交變相移（SAPS）兆聲波清晰技術(shù)、解決兆聲波非穩(wěn)定氣穴震蕩引起的圖形破壞以及世界首創(chuàng)的Ultra C Tahoe技術(shù)。”王暉介紹道。
以空間交變相移（SAPS）兆聲波清晰技術(shù)為例，在先進(jìn)技術(shù)節(jié)點(diǎn)里，隨著會影響產(chǎn)品量率的“致命缺陷”不斷縮小，硅片清洗也變得愈發(fā)具有挑戰(zhàn)性。傳統(tǒng)噴射清洗對晶圓表面噴涂速度接近于零，無法去除微小顆粒；利用兆聲波產(chǎn)生的氣穴可將微粒從晶圓表面移除。可傳統(tǒng)兆聲波清洗又存在能量傳送不均勻，因此顆粒去除效率極低。盛美半導(dǎo)體的SAPS清洗技術(shù)擁有獨(dú)有的SAPS兆聲波設(shè)計，能做到均勻傳送，從而具有極高的顆粒去除率。
芯片結(jié)構(gòu)正不斷提高深寬比，同時也不斷縮小，因而也變得更加脆弱，傳統(tǒng)清洗工藝會導(dǎo)致?lián)p傷和產(chǎn)量損失。“我們研發(fā)了TEBO技術(shù)，控制氣穴的震蕩，讓能量不要集聚到爆炸，做到兆聲波清洗無破壞?！蓖鯐煴硎荆@是盛美半導(dǎo)體全球首創(chuàng)的技術(shù)。
在Ultra C Tahoe技術(shù)上，可以綜合槽體清洗機(jī)與單片清洗機(jī)的工藝優(yōu)勢和成本優(yōu)勢，減少高溫硫酸使用量，降低硫酸成本80%以上，大幅減少芯片廠廢液處理量；整合槽式和單片清洗工藝，減少工藝步驟，提高工藝性能，縮短產(chǎn)品生產(chǎn)周期。
此外，盛美半導(dǎo)體還有超臨界CO2干燥技術(shù)、Ultra C be邊緣濕刻蝕設(shè)備以及三大新產(chǎn)品平臺。
“我們的戰(zhàn)略發(fā)展計劃是做到技術(shù)差異化、產(chǎn)品平臺化、客戶全球化。”王暉說道：“產(chǎn)品差異化的技術(shù)要面向全球，一半是國內(nèi)銷售，一半是國外銷售，所以我認(rèn)為盛美半導(dǎo)體未來的目標(biāo)要朝著200億以上的年產(chǎn)量努力?！?/p>
03、尊重知識產(chǎn)權(quán)，繼續(xù)擴(kuò)大開放
“為什么國際上的內(nèi)卷沒有中國那么嚴(yán)重，核心的一點(diǎn)就是尊重知識產(chǎn)權(quán)?！?strong>在王暉看來，中國的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)不缺市場，不缺資金，也不缺人才，但缺少對知識產(chǎn)權(quán)的有效保護(hù)。
在改革開放之前，中國沒有《專利法》，在半導(dǎo)體領(lǐng)域大家互相模仿，同質(zhì)化嚴(yán)重，難以做到商業(yè)化?！叭绻鱾€企業(yè)能夠尊重知識產(chǎn)權(quán)，在這個基礎(chǔ)上良性內(nèi)卷，不在模仿這條路上廝殺。那么，中國一定能夠擁有更多可以進(jìn)入全球市場的高科技公司?！蓖鯐煾锌?。
王暉表示，保護(hù)知識產(chǎn)權(quán)需要著眼于集成電路產(chǎn)業(yè)立法和保護(hù)，也要鼓勵創(chuàng)新，提前布局專利研發(fā)。同時，浦東政府應(yīng)營造良好的營商環(huán)境，吸引全世界創(chuàng)新科技公司匯集上海，輻射全國乃至全球。“保護(hù)知識產(chǎn)權(quán)是第一步，我們還應(yīng)該長期投入研發(fā)，擴(kuò)大開放，實(shí)現(xiàn)‘再全球化’。”王暉說道。
“盛美是在張江這塊科創(chuàng)熱土上成長起來的，我們希望能立足張江，回饋上海，面向全球乃至全世界?！蓖鯐熃榻B，盛美半導(dǎo)體上海新總部設(shè)在張江，建筑面積為1.2萬平方米，預(yù)計今年啟用；盛美半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)與制造中心設(shè)在臨港新片區(qū)，建筑面積為13.8萬平方米，將于今年竣工。
上海的定位是“世界影響力的科創(chuàng)中心”，在這片科創(chuàng)熱土上會出現(xiàn)更多的世界級公司?！叭蚧欢〞絹恚菚r，中國的技術(shù)公司一定要以你自己的核心IP，你自己的差異化技術(shù)，向全球半導(dǎo)體行業(yè)貢獻(xiàn)力量?！蓖鯐煹脑掔H鏘有力。
文字｜張文琪? ? ??編輯｜呂穎穎
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