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本文由半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)縱橫（ID：ICVIEWS）編譯自jbpress
與從“器材之王”跌落的尼康有何區(qū)別？
1995年，當(dāng)日本半導(dǎo)體行業(yè)競爭還很激烈時，尼康在光刻設(shè)備出貨額中占有48.9%的份額，佳能占28.7%的份額，讓日本總共獲得了77.6%的份額。當(dāng)時，尼康在光刻設(shè)備市場占有率第一，被譽為“器材之王”（圖1）。
圖 1 按公司劃分的光刻設(shè)備出貨量和份額（截至 2023 年）來源：根據(jù)摩根士丹利證券數(shù)據(jù)創(chuàng)建
然而，1995年市場份額為15.9%的荷蘭ASML此后市場份額快速提升，于2002年超越尼康和佳能，2010年市場份額超過80%，2021年市場份額達(dá)到90%。2023年，ASML將以94.2%的市場份額占據(jù)主導(dǎo)地位，而尼康的市場份額將下降至3.1%，佳能的市場份額將下降至2.8%。
ASML在ArF沉浸式設(shè)備的吞吐量和可用性方面壓倒了日本競爭對手，自2008年以來，ArF沉浸式設(shè)備已成為其主打產(chǎn)品。ASML已成為尖端光刻設(shè)備EUV領(lǐng)域的主導(dǎo)公司。
結(jié)果，日本在光刻設(shè)備領(lǐng)域的存在似乎消失了。然而，如果我們計算光刻設(shè)備的“各類光刻設(shè)備的出貨量份額”而不是“EUV光刻設(shè)備出貨量份額”，則會出現(xiàn)完全不同的情況。筆者想討論下面的細(xì)節(jié)。
?各公司光刻設(shè)備出貨量及占比
圖2顯示了各公司出貨的光刻設(shè)備數(shù)量。2011年至2014年，ASML出貨量從222臺減少至136臺。此外，尼康的銷量從85臺減少到34臺。另一方面，佳能的出貨量變化不大，從52臺變化到54臺。
圖2 按公司劃分的光刻設(shè)備出貨量（截至2023年）來源：根據(jù)摩根士丹利證券數(shù)據(jù)創(chuàng)建
不過，從2015年到2023年，ASML和佳能的出貨量大幅增長。ASML從169臺增加到449臺，佳能從80臺增加到187臺。另一方面，尼康的銷量從42臺增加到45臺，并沒有大幅增長。接下來我們看一下全球光刻設(shè)備的出貨量以及各公司的出貨量占比（圖3）。
圖 3 按公司劃分的光刻設(shè)備出貨量份額（截至 2023 年）來源：根據(jù)摩根士丹利證券數(shù)據(jù)創(chuàng)建
ASML的出貨量份額穩(wěn)定在65%左右。另一方面，佳能的市場份額從2011年的11.4%逐漸上升，2015年以來一直維持在30%以下。另一方面，尼康的市場份額逐漸下降，從2011年的23.7%，下降到2023年的6.6%。這樣一來，佳能在銷量份額上根本無法與ASML匹敵，但在出貨量上卻擁有ASML近一半的份額。那么，佳能大量出貨的是哪些光刻設(shè)備呢？
?各公司光刻設(shè)備出貨量
圖4顯示了各公司各種光刻設(shè)備的出貨量。只有ASML可以出貨最先進的光刻設(shè)備EUV，每臺成本為240億日元。至于每臺成本98億日元的ArF沉浸式，ASML有125臺，尼康有9臺，ASML以壓倒性優(yōu)勢領(lǐng)先尼康。在每臺售價31億日元的ArF干貨市場，ASML有32臺，尼康有10臺，所以尼康做得好一點。
圖 4 按公司劃分的各種光刻設(shè)備的價格和出貨量（2023 年）來源：根據(jù)摩根士丹利證券數(shù)據(jù)創(chuàng)建
其中數(shù)量最多的KrF為16億日元，ASML有184臺，尼康只有2臺，佳能有56臺。佳能在這里首次出現(xiàn)，佳能的56臺機器占ASML 184臺機器的30%。此外，單價7億日元的i-line，ASML出貨量為55臺，尼康出貨量為24臺，佳能出貨量為131臺，約為ASML的2.4倍。注意，各種光刻設(shè)備的價格是參考ASML的財務(wù)報告計算的。當(dāng)時換算成日元是1歐元=160日元。
?佳能專注于KrF和i-line
這樣看來，佳能的戰(zhàn)略就清晰了。佳能的策略是專注于KrF和i-line，而不觸及EUV和ArF等先進技術(shù)。而且這個策略確實有效。這是因為在制造半導(dǎo)體時，無論多么尖端，都不可能只使用EUV；而是會使用ArF浸沒式、ArF干式、KrF和i-line。換句話說，無論未來半導(dǎo)體小型化進展如何，KrF和i-line總會有生意的。而且，由于設(shè)備成熟，開發(fā)成本幾乎可以忽略不計。
因此，佳能對KrF和i-line的重視可以說是非常出色的。另一方面，尼康的策略不如佳能那么明確。在 ArF 浸沒和 ArF 干燥方面，尼康無法與 ASML 匹敵。憑借 KrF 和 i-line，無法擊敗佳能。換句話說，尼康似乎正在彌補 ASML 在尖端設(shè)備方面的不足，并在彌補佳能在成熟設(shè)備方面的不足。正如開頭提到的，尼康在20世紀(jì)90年代被譽為“器材之王”。
然而，由于 ASML 和佳能，它現(xiàn)在得以生存。你能真正感受到事物的盛衰、無常。展望未來，ASML在尖端光刻設(shè)備方面已開始出貨下一代EUV機器“High NA”。
此外，下一代“Hyper NA”將于2030年左右開發(fā)。如此看來，佳能似乎將業(yè)務(wù)重點放在KrF和i-line上，而ASML則投入巨額研發(fā)成本，推進尖端技術(shù)。我覺得佳能放棄尖端的策略很“聰明”。
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