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作者：湯之上隆，編譯：三分淺土
01、ASML的銷售額突飛猛進(jìn)
SEMI在2023年12月12日宣布，盡管預(yù)計(jì)2023年全球半導(dǎo)體制造設(shè)備市場(chǎng)將比2022年的1,074億美元下降6.1％，但有一些半導(dǎo)體設(shè)備制造商不顧這種下降趨勢(shì)，迅速擴(kuò)大了銷售額。荷蘭的ASML在光刻機(jī)領(lǐng)域占據(jù)的市場(chǎng)份額超過了90％。
圖1顯示了主要半導(dǎo)體設(shè)備制造商的銷售額變化情況。該圖僅列出了前五家公司基于每家公司的財(cái)務(wù)報(bào)告直到2023年的銷售額。結(jié)果顯示，ASML超過了美國(guó)應(yīng)用材料公司（AMAT），躍居世界第一。ASML在過去4至5年間的增長(zhǎng)勢(shì)頭驚人，其銷售額的增長(zhǎng)趨勢(shì)幾乎接近垂直。
圖 1 主要半導(dǎo)體設(shè)備制造商的銷售趨勢(shì)（僅截止到 2023 年的前五家公司）；資料來源：作者根據(jù)《電子期刊》出版的《半導(dǎo)體設(shè)備數(shù)據(jù)庫(kù)》、野村證券的數(shù)據(jù)以及各公司的財(cái)務(wù)報(bào)告數(shù)據(jù)編制而成。
再次看看圖1，可以看出第5名以上和第6名以下之間存在著巨大差距。ASML排名第一，銷售額為298億美元，第二名的AMAT為265億美元，第三名的美國(guó)Lam Research為174億美元，第四名的東京電子（TEL）為157億美元，第五名的美國(guó)KLA為105億美元，而第六名的SCREEN僅為22.3億美元（基于2022年的銷售額）。
可以說，除非發(fā)生奇跡，否則第6名以下的設(shè)備制造商很難與前五名競(jìng)爭(zhēng)。
此外，即使是前五名中，“第一名ASML＆第二名AMAT”和“第三名Lam＆第四名TEL”之間也存在很大差距。此外，第五名的KLA與第三和第四名之間也有很大的差距。在這種情況下，即使在前五名中，排名幾乎已經(jīng)確定，“ASML與AMAT的競(jìng)爭(zhēng)”或“Lam與TEL的第三名競(jìng)爭(zhēng)”可能會(huì)存在，但未來可能不會(huì)發(fā)生太大的排名變化。
然而，ASML的快速增長(zhǎng)令人驚訝。因此，本文將探討ASML爆炸性增長(zhǎng)的原因。
首先，分析ASML過去三年的季度銷售額。其次，通過回顧2011年至2023年12年間的銷售額，確定ASML增長(zhǎng)的關(guān)鍵轉(zhuǎn)折點(diǎn)。最后，展望ASML的未來增長(zhǎng)。
先總體說一下結(jié)論，ASML高速增長(zhǎng)的原因可能是先進(jìn)的極紫外（EUV）光刻機(jī)的普及以及中國(guó)大陸對(duì)ArF光刻機(jī)的大量采購(gòu)。此外，據(jù)報(bào)道，自去年（2023年）年底至2024年，ASML將發(fā)貨10臺(tái)EUV的下一代High NA EUV設(shè)備。
據(jù)說，High NA的鏡頭數(shù)值孔徑（NA）是0.55，是目前使用的EUV（NA = 0.33）的兩倍以上的價(jià)格。因此，預(yù)計(jì)ASML的強(qiáng)勁增長(zhǎng)將持續(xù)下去。
02、ASML每個(gè)季度的光刻設(shè)備出貨數(shù)量
圖2顯示了ASML每個(gè)季度的光刻機(jī)出貨數(shù)量?？梢钥闯?，ASML出貨最多的是KrF。KrF在2022年第一季度前后每季度大約為30臺(tái)左右，但隨后出貨數(shù)量增加，到了2023年第四季度達(dá)到了54臺(tái)。這是因?yàn)榻陙硎澜绺鞯囟荚谂U(kuò)大半導(dǎo)體制造能力。因?yàn)镵rF無(wú)論是在先進(jìn)還是成熟技術(shù)上，都在半導(dǎo)體制造中被廣泛需要。
圖 2 ASML 按光刻機(jī)類型分類的季度出貨量；資料來源：作者根據(jù) ASML 財(cái)務(wù)報(bào)告和其他來源的數(shù)據(jù)編寫。
KrF之后出貨數(shù)量最多的是ArF液浸。ArF液浸的出貨數(shù)量在2022年前基本上每季度約為20臺(tái)，但進(jìn)入2023年，Q1為25臺(tái)，Q2為39臺(tái)，Q3為32臺(tái)，Q4為29臺(tái)，出貨數(shù)量急劇增加。
這背后的原因是，荷蘭政府與美國(guó)一樣對(duì)中國(guó)大陸實(shí)施了出口限制，自2023年9月起，ASML無(wú)法將ArF液浸設(shè)備出口到中國(guó)大陸。因此，一些公司在禁令生效前大量采購(gòu)ArF液浸設(shè)備，導(dǎo)致ArF液浸的出貨數(shù)量激增。
在KrF和ArF之后，出貨數(shù)量最多的是EUV和i線，大約每季度十幾臺(tái)左右。而出貨數(shù)量最少的是ArF干式，每季度大約為5到10臺(tái)。
接下來，我們來看看ASML的各種光刻設(shè)備的銷售額。
03、ASML的主要收入來源是EUV和ArF液浸
圖3顯示了ASML每個(gè)季度的光刻機(jī)銷售額比例和金額。從圖3A可以看出，ASML的主要收入來源是EUV和ArF液浸。盡管波動(dòng)較大，但兩者的銷售額比例都在30%到50%之間。而出貨數(shù)量最多的KrF則在10%左右。
圖 3 ASML 按光刻機(jī)類型分類的季度銷售額（百分比）；資料來源：作者根據(jù) ASML 財(cái)務(wù)報(bào)告和其他來源的數(shù)據(jù)編制。
接著，我們來看看圖3B中各種光刻機(jī)的銷售額?？梢钥闯?，進(jìn)入2023年后，ArF液浸急劇擴(kuò)大，Q2和Q3的銷售額超過了EUV，引人注目。
在這里，我們計(jì)算了每種光刻設(shè)備的單臺(tái)價(jià)格，金額單位為百萬(wàn)歐元。計(jì)算結(jié)果顯示，i線為430萬(wàn)歐元，KrF為1000萬(wàn)歐元，ArF干式為1960萬(wàn)歐元，ArF液浸為6120萬(wàn)歐元，EUV為1億5000萬(wàn)歐元。隨著技術(shù)的先進(jìn)，光刻設(shè)備的價(jià)格也隨之增高。簡(jiǎn)直是高得離譜。與其他制造設(shè)備相比，價(jià)格高出一個(gè)到兩個(gè)數(shù)量級(jí)。
因此，EUV每臺(tái)價(jià)格高達(dá)240億日元，為ASML的銷售額貢獻(xiàn)了很大一部分。
此外，由于ArF液浸每臺(tái)價(jià)格也接近100億日元，并且出貨數(shù)量是EUV的兩倍以上，因此ArF液浸也對(duì)ASML的銷售額有很大的貢獻(xiàn)。
那么，購(gòu)買這種昂貴的光刻設(shè)備的是哪些國(guó)家/地區(qū)呢？
04、中國(guó)臺(tái)灣、韓國(guó)和中國(guó)大陸是最大的客戶
圖4顯示了ASML每個(gè)季度各地區(qū)的銷售額比例和金額。首先，從圖4A可以看出，2022年第一季度中國(guó)大陸曾一度超過中國(guó)臺(tái)灣和韓國(guó)。但除此之外，從2020年第四季度到2023年第一季度，中國(guó)臺(tái)灣擁有TSMC和韓國(guó)擁有三星和SK海力士，一直占據(jù)著銷售額比例的前兩名。
圖 4 ASML 按地區(qū)分類的季度銷售額（百分比）；資料來源：作者根據(jù) ASML 財(cái)務(wù)報(bào)告和其他來源的數(shù)據(jù)編制。
然而，從2023年第二季度開始，中國(guó)大陸的銷售額比例急劇增長(zhǎng)，超過了中國(guó)臺(tái)灣和韓國(guó)，成為了第一名。中國(guó)大陸的比例在第三季度達(dá)到了46%，第四季度也達(dá)到了39%。換句話說，對(duì)于ASML來說，2023年下半年中國(guó)大陸成為了最大的客戶。
05、ASML的光刻機(jī)出貨量變化
圖2中，對(duì)過去3年各個(gè)曝光設(shè)備的出貨量進(jìn)行了分析。然而，筆者希望更長(zhǎng)期地了解ASML過去出貨了多少臺(tái)光刻機(jī)。因此，筆者盡可能地閱讀了ASML的年度報(bào)告，并將2011年至2023年各類光刻機(jī)的出貨量制作成了圖表（見圖5）。雖然我本來也想知道2010年以前的情況，但遺憾的是，2010年以前的年度報(bào)告中并未提及各類光刻機(jī)的出貨量。
圖 5：ASML 按光刻機(jī)類型分類的出貨量；資料來源：作者根據(jù) ASML 年報(bào)和財(cái)務(wù)報(bào)告中的數(shù)據(jù)編寫。
重新看一下圖5，可以發(fā)現(xiàn)自2019年以來，KrF的出貨量急劇增加。在2019年之前，每年不到80臺(tái)，但從2020年開始呈直線增長(zhǎng)，到2023年已經(jīng)出貨了184臺(tái)。這是因?yàn)?，正如前文所述，?020年以來，全球各地區(qū)都在積極擴(kuò)大半導(dǎo)體制造能力，無(wú)論是先進(jìn)技術(shù)還是成熟技術(shù)，對(duì)KrF的需求都急劇增加。
另一方面，ArF液浸每年出貨量大約在80臺(tái)左右，但到了2023年，可能由于中國(guó)大陸的大量采購(gòu)等原因，出貨量突然增加到大約125臺(tái)左右。然而，2024年之后，由于預(yù)計(jì)中國(guó)大陸的大量采購(gòu)活動(dòng)會(huì)趨于平息，ArF液浸的出貨量可能會(huì)下降。
除此之外，2023年出貨量排名前三的是i線55臺(tái)、EUV53臺(tái)、ArF干法32臺(tái)。這三種光刻設(shè)備的出貨量自2016年以來一直呈增長(zhǎng)趨勢(shì)。
接下來，讓我們看看ASML各種曝光設(shè)備的銷售額。
06、EUV銷售額急劇增長(zhǎng)
圖6顯示了2011年至2023年ASML各種曝光設(shè)備的銷售額變化。在2019年之前，ArF液浸的銷售額最大，但從2016年左右開始，EUV的銷售額急劇增長(zhǎng)，并于2020年超過了ArF液浸，成為ASML最大的賺錢項(xiàng)目。然而，自2022年以后，由于中國(guó)大陸的大量采購(gòu)，ArF液浸的銷售額急劇上升，到2023年，EUV的銷售額為92.14億歐元，ArF液浸的銷售額為89.95億歐元，幾乎相當(dāng)。
圖 6 ASML 按光刻機(jī)類型分類的銷售額；資料來源：作者根據(jù) ASML 年報(bào)和財(cái)務(wù)報(bào)告中的數(shù)據(jù)編寫。
此外，除了EUV和ArF液浸之外，其他光刻設(shè)備的銷售額也在增加，2023年按金額排名前三的是KrF 21.94億歐元、ArF干法8.78億歐元、i線2.19億歐元。
那么，2024年之后會(huì)怎樣呢？2024年后ArF液浸銷售額可能會(huì)暫時(shí)下降。
另一方面，除了ArF液浸之外的其他光刻設(shè)備的銷售額可能會(huì)增加。特別是，EUV的銷售額增長(zhǎng)將尤為顯著。原因是，隨著NA=0.33的EUV出貨量繼續(xù)增加，High NA的出貨量也開始正式啟動(dòng)。
根據(jù)2024年2月10日路透社的報(bào)道，High NA的設(shè)備價(jià)格為3.5億美元。如果以1美元=150日元計(jì)算，那么高NA的價(jià)格將達(dá)到525億日元。這是NA=0.33的EUV價(jià)格240億日元的兩倍以上。
此外，有報(bào)道稱，ASML在2023年底向英特爾交付了10臺(tái)High NA設(shè)備，并預(yù)計(jì)在2024年內(nèi)出貨10臺(tái)High NA設(shè)備。如果這是事實(shí)，那么2024年EUV的銷售額將達(dá)到極高水平。據(jù)推測(cè)，其中6臺(tái)已被英特爾收入囊中。此外，還有計(jì)劃到2028年每年生產(chǎn)20臺(tái)High NA設(shè)備。
07、ASML的地區(qū)銷售額
在2011年至2018年左右，中國(guó)臺(tái)灣、韓國(guó)和美國(guó)這三個(gè)地區(qū)占據(jù)了銷售額的前三名。然而，自2018年以后，美國(guó)的銷售額保持穩(wěn)定，而中國(guó)臺(tái)灣和韓國(guó)的銷售額大幅增加。這主要是因?yàn)橹袊?guó)臺(tái)灣的臺(tái)積電和韓國(guó)的三星展開了激烈的EUV技術(shù)引入競(jìng)爭(zhēng)。
隨后，中國(guó)大陸在2020年超過了美國(guó)，在2023年大幅增加了銷售額，并在2023年超過了韓國(guó)，增長(zhǎng)接近與中國(guó)臺(tái)灣并列第一的水平。2023年的銷售額依次為：中國(guó)臺(tái)灣65.82億歐元，中國(guó)大陸63.62億歐元，韓國(guó)52.65億歐元，美國(guó)21.94億歐元，歐洲8.78億歐元，日本4.39億歐元，新加坡2.19億歐元。
展望未來，可以預(yù)見，銷售額在2022年至2023年間下降的中國(guó)臺(tái)灣和韓國(guó)將在2024年后再次上升。此外，美國(guó)將引入總共6臺(tái)High NA設(shè)備，預(yù)計(jì)也將大幅增長(zhǎng)。相反，由于中國(guó)大陸無(wú)法進(jìn)行ArF液浸的大量采購(gòu)，2024年后中國(guó)大陸的銷售額可能會(huì)下降。
08、ASML的展望
最后，回顧了ASML自2011年至2023年的銷售額，展望未來的發(fā)展（見圖8）。ASML的銷售額似乎有兩個(gè)拐點(diǎn)。
圖 8：ASML 的銷售額和營(yíng)業(yè)利潤(rùn)?；?資料來源：作者根據(jù) ASML 年報(bào)和財(cái)務(wù)報(bào)告中的數(shù)據(jù)編制。
一個(gè)是在2016年，從這一年開始，EUV設(shè)備的出貨量開始大幅增加，這被認(rèn)為是一個(gè)轉(zhuǎn)折點(diǎn)。
另一個(gè)是在2022年，這一年似乎也有一個(gè)拐點(diǎn)，主要是由于中國(guó)大陸對(duì)ArF液浸設(shè)備的大量采購(gòu)。
此外，從2023年到2024年，很有可能出現(xiàn)第三個(gè)轉(zhuǎn)折點(diǎn)。這可能是由于High NA設(shè)備每臺(tái)3.5億美元的影響。
第一臺(tái)High NA設(shè)備于2023年12月底交付給了美國(guó)英特爾。正如前文所述，據(jù)報(bào)道，ASML將在2023年至2024年期間共交付10臺(tái)High NA設(shè)備。如果這是事實(shí)，那么毫無(wú)疑問，從2023年到2024年將出現(xiàn)第三個(gè)拐點(diǎn)。
總之，在制造設(shè)備制造商銷售額排名中，ASML在可預(yù)見的將來仍將穩(wěn)居首位。可以說，真正的ASML時(shí)代即將到來。
來源：內(nèi)容由芯世相（ID：xinpianlaosiji）編譯自「EE Times Japan」，作者: 湯之上隆
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