根據(jù)芯思想和芯思想研究院的調(diào)研,截止2023年12月20日,中國(guó)內(nèi)地12英寸、8英寸和6英寸及以下的硅晶圓制造線(xiàn)共有210條(不含純MEMS生產(chǎn)線(xiàn)、化合物半導(dǎo)體生產(chǎn)線(xiàn)和光電子生產(chǎn)線(xiàn))。
中國(guó)內(nèi)地共建有12英寸晶圓廠(chǎng)45座,規(guī)劃產(chǎn)能合計(jì)238萬(wàn)片,已經(jīng)裝機(jī)產(chǎn)能211萬(wàn)片(其中外資裝機(jī)64萬(wàn)片),實(shí)際產(chǎn)量約在125-140萬(wàn)片之間;在建24座,規(guī)劃產(chǎn)能合計(jì)125萬(wàn)片(其中外資在建18萬(wàn)片);規(guī)劃興建或改造13座,規(guī)劃產(chǎn)能合計(jì)57萬(wàn)片(其中外資規(guī)劃5萬(wàn)片);全部產(chǎn)能合計(jì)420萬(wàn)片(其中外資產(chǎn)能77萬(wàn)片)。
中國(guó)內(nèi)地共建有8英寸晶圓廠(chǎng)34座,規(guī)劃產(chǎn)能合計(jì)168萬(wàn)片,已經(jīng)裝機(jī)產(chǎn)能152萬(wàn)片(其中外資裝機(jī)35萬(wàn)片),實(shí)際產(chǎn)量約在140萬(wàn)片左右;在建5座,規(guī)劃產(chǎn)能合計(jì)20萬(wàn)片;規(guī)劃興建或改造11座,規(guī)劃產(chǎn)能合計(jì)32萬(wàn)片;全部產(chǎn)能合計(jì)220萬(wàn)片。
中國(guó)內(nèi)地共建有6英寸晶圓廠(chǎng)48座,規(guī)劃產(chǎn)能合計(jì)264萬(wàn)片,已經(jīng)裝機(jī)產(chǎn)能206萬(wàn)片,實(shí)際產(chǎn)量約在180萬(wàn)片左右;在建4座,規(guī)劃產(chǎn)能合計(jì)21萬(wàn)片;規(guī)劃興建或改造6座,規(guī)劃產(chǎn)能合計(jì)34萬(wàn)片;全部產(chǎn)能合計(jì)319萬(wàn)片。
中國(guó)內(nèi)地共建有5/4/3英寸晶圓廠(chǎng)63座,規(guī)劃產(chǎn)能合計(jì)730萬(wàn)片(按4英寸計(jì)算)。
目前,中國(guó)內(nèi)地建設(shè)12英寸晶圓制造生產(chǎn)線(xiàn)城市的有20個(gè),已經(jīng)投產(chǎn)的12英寸裝機(jī)產(chǎn)能分布按城市排名:無(wú)錫、北京、武漢、合肥、西安、上海位居前六位。
中國(guó)內(nèi)地建設(shè)8英寸晶圓制造生產(chǎn)線(xiàn)城市的有24個(gè),已經(jīng)投產(chǎn)的12英寸裝機(jī)產(chǎn)能分布按城市排名:上海、天津、無(wú)錫、紹興、蘇州、杭州位居前六位。
本土12英寸晶圓制造裝機(jī)產(chǎn)能排名前五的公司(不考慮工藝水平,不包括存儲(chǔ)產(chǎn)能):中芯國(guó)際、華虹集團(tuán)、晶合集成、士蘭微、粵芯。