2671
業(yè)內(nèi)傳出消息稱，某日本某光刻膠大廠已經(jīng)執(zhí)行美國“實(shí)體清單”的限制要求，對(duì)中國大陸某存儲(chǔ)晶圓廠斷供了KrF光刻膠。
有業(yè)內(nèi)人士向芯智訊表示，消息屬實(shí)。但并未透露更多細(xì)節(jié)。
芯智訊隨后也有聯(lián)系相關(guān)國產(chǎn)存儲(chǔ)晶圓廠商內(nèi)部人士，對(duì)方表示“不清楚”。
受該傳聞?dòng)绊?，今日下午，A股開盤后，光刻膠相關(guān)概念股集體大漲。截至收盤，容大感光上漲20%、南大光電上漲9.9%、晶瑞電材上漲6.42%、上海新陽上漲4.34%、彤程新材上漲4.03%、華懋科技上漲3.81%。
全球光刻膠市場(chǎng)格局：日美廠商占據(jù)壟斷地位
眾所周知，光刻膠是半導(dǎo)體芯片制造過程中所必須的關(guān)鍵材料。由于目前光刻機(jī)曝光光源一共有六種，分別是紫外全譜（300～450nm）、 G 線（436nm）、 I 線（365nm）、深紫外（DUV，包括 248nm 和 193nm）和極紫外（EUV），相對(duì)應(yīng)于各曝光波長的光刻膠也應(yīng)運(yùn)而生，對(duì)應(yīng)分別為，g 線光刻膠、i 線光刻膠、KrF光刻膠、 ArF光刻膠、EUV光刻膠。
從全球光刻膠市場(chǎng)來看，根據(jù) TOK 和 Fujifilm 數(shù)據(jù)顯示，2020 年各細(xì)分半導(dǎo)體光刻膠產(chǎn)品廠商市場(chǎng)主要被日美廠商所占據(jù)：
g/i 線：東京應(yīng)化占比 25.2%，陶氏杜邦占比 19.1%，住友化學(xué)占比 15.7%；
KrF：東京應(yīng)化占比 31.4%，信越化學(xué)占比 21.9%，合成橡膠占比 20.9%，陶氏杜邦占比 10.9%；
ArF：合成橡膠（JSR）占比24.9%，信越化學(xué)占比 21.8%，住友化學(xué)占比 16.8%，東京應(yīng)化占比15.8%；
EUV：東京應(yīng)化占比51.8%，另外合成橡膠（JSR）也有不小的份額。
國產(chǎn)半導(dǎo)體光刻膠供應(yīng)情況：
雖然近年來，隨著國產(chǎn)半導(dǎo)體制造業(yè)務(wù)發(fā)展，國產(chǎn)光刻膠廠商也取得了一些突破，但是在中高端光刻膠市場(chǎng)仍是相對(duì)較弱。
具體來說，低端的中g(shù)線/i線光刻膠自給率約為20%，KrF光刻膠自給率不足5%，而高端的ArF光刻膠則主要依賴于進(jìn)口，是國內(nèi)半導(dǎo)體的卡脖子技術(shù)之一。至于EUV光刻膠，由于美國的阻撓，國內(nèi)目前無法進(jìn)口EUV光刻機(jī)，因此國產(chǎn)EUV光刻膠的開發(fā)自然也無從談起。
去年5月，日本光刻膠巨頭JSR的首席執(zhí)行官埃里克?約翰遜（Eric Johnson）在接受采訪時(shí)曾表示，盡管中國大陸在努力推動(dòng)芯片的自給自足，但中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)必要的基礎(chǔ)設(shè)施不足，比如很難掌握基于極紫外（EUV）光刻的復(fù)雜芯片制造技術(shù)，發(fā)展先進(jìn)制程的芯片制造技術(shù)將非常困難。
對(duì)于中國在光刻膠領(lǐng)域的追趕，以及希望在高端光刻膠技術(shù)上的突破，約翰遜認(rèn)為，即便中國獲得相關(guān)化學(xué)成分的確切資料，但在純度、精度及制造上都非常困難，且中國也沒有供應(yīng)鏈支持。但中國當(dāng)局積極投資成熟的芯片技術(shù)，也是不容忽視的一部分，“人們還沒充分意識(shí)到，中國有多少機(jī)會(huì)可以不依賴這些先進(jìn)制程?！?/p>
國產(chǎn)光刻膠廠商布局與最新進(jìn)展：
目前國產(chǎn)g/i 線光刻膠供應(yīng)商主要有晶瑞電材（蘇州瑞紅）、彤程新材（北京科華），總體在全球市場(chǎng)份額約10%；
在KrF光刻膠方面，國內(nèi)的彤程新材（北京科華）、上海新陽、晶瑞電材（蘇州瑞紅）、徐州博康（華懋科技持有約26%股份）等都有布局，但實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)供貨的卻不多，整體市場(chǎng)份額不到1%。
在ArF光刻膠方面，國內(nèi)的南大光電、晶瑞電材（蘇州瑞紅）、彤程新材（北京科華）、上海新陽、徐州博康（華懋科技持有約26%股份）等也都有布局，但沒有實(shí)現(xiàn)大批量量產(chǎn)供貨。
彤程新材
資料顯示，彤程新材旗下北京科華微電子材料有限公司半導(dǎo)體光刻膠等業(yè)務(wù)2021年1-9月份實(shí)現(xiàn)業(yè)務(wù)訂單銷售9,375.85萬元，同比增長51.6%，半導(dǎo)體用G/I線光刻膠產(chǎn)品銷售額較上年同期增長61.78%，KrF光刻膠產(chǎn)品銷售額較上年同期增長226.69%；彤程電子年產(chǎn)1.1萬噸半導(dǎo)體、平板顯示用光刻膠及2萬噸相關(guān)配套試劑項(xiàng)目進(jìn)展順利，預(yù)計(jì)2022年開始分批投產(chǎn)。
2021年8月，彤程新材宣布使用自籌資金6.9853億元，投資建設(shè)“ArF高端光刻膠研發(fā)平臺(tái)建設(shè)項(xiàng)目”。本項(xiàng)目建設(shè)周期為2.5年，預(yù)計(jì)于2023年12月完成研發(fā)平臺(tái)建設(shè)，項(xiàng)目預(yù)計(jì)于2023年末建設(shè)完成。
2023年2月17日，彤程新材再度在投資者平臺(tái)上表示，“ArF高端光刻膠研發(fā)平臺(tái)建設(shè)項(xiàng)目”預(yù)計(jì)于2023年末建設(shè)完成。
值得一提的是，在2021年11月8日，北京科華微電子材料有限公司宣布與光刻膠大廠杜邦電子與工業(yè)事業(yè)部開展一項(xiàng)合作計(jì)劃，為中國集成電路芯片制造商提供高性能光刻材料。憑借雙方公司的優(yōu)勢(shì)，此項(xiàng)合作旨在滿足行業(yè)對(duì)先進(jìn)光刻膠和其它光刻材料的需求。
南大光電
寧波南大光電已建成年產(chǎn)25噸的ArF（干式和浸沒式）光刻膠產(chǎn)品生產(chǎn)線；研發(fā)的ArF光刻膠產(chǎn)品在2021年已分別通過一家存儲(chǔ)芯片制造企業(yè)和一家邏輯芯片制造企業(yè)的客戶認(rèn)證。
2021年7月初，南大光電在互動(dòng)平臺(tái)上表示，公司旗下的ArF光刻膠產(chǎn)品拿到小批量訂單，不過他們沒有透露具體的客戶名單。今年2月初，南大光電再度在互動(dòng)平臺(tái)上表示，子公司寧波南大光電正在積極開展ArF光刻膠的客戶驗(yàn)證工作，已有兩款產(chǎn)品通過驗(yàn)證，目前有多款產(chǎn)品正在多家客戶進(jìn)行認(rèn)證。南大光電近日也曾對(duì)外表示，公司正抓緊ArF光刻膠產(chǎn)品認(rèn)證和市場(chǎng)拓展工作，爭取盡早實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)。
上海新陽
2021年6月30日晚間，上海新陽發(fā)布公告，宣布公司自主研發(fā)的KrF （248nm）厚膜光刻膠產(chǎn)品近日已通過客戶認(rèn)證，并成功取得第一筆訂單。2022年12月初，上海新陽在投資者互動(dòng)平臺(tái)表示，KrF光刻膠已批量化生產(chǎn)銷售，新客戶亦在持續(xù)開發(fā)中。
容大感光
容大感光在近日公布的一份調(diào)研紀(jì)要中透露，公司目前顯示用光刻膠、半導(dǎo)體光刻膠的收入大致相當(dāng)。公司2022年1-9月干膜光刻膠的收入是923.37萬元，公司已具備干膜光刻膠（ArF干式光刻膠）的配方及生產(chǎn)技術(shù)，但尚未建設(shè)好與之配套的生產(chǎn)廠房及生產(chǎn)線，因此目前公司干膜光刻膠主要生產(chǎn)環(huán)節(jié)采用外協(xié)加工的模式，其產(chǎn)能受限于合作的外協(xié)加工廠商。
此前，容大感光還宣布定增募資不超過6.7億元，用于光刻膠及其配套化學(xué)品新建項(xiàng)目及補(bǔ)充流動(dòng)資金。計(jì)劃建設(shè)年產(chǎn)1.2億平方米感光干膜光刻膠項(xiàng)目，年產(chǎn)1.53萬噸顯示用光刻膠、半導(dǎo)體光刻膠及配套化學(xué)品。預(yù)計(jì)在項(xiàng)目投產(chǎn)后，滿產(chǎn)滿銷的狀態(tài)下，感光干膜光刻膠將每年給公司帶來約5億元的收入，顯示用光刻膠將每年給公司帶來約7億元收入，半導(dǎo)體光刻膠將每年給公司帶來約2億元收入。
晶瑞電材
晶瑞電材此前曾表示，子公司瑞紅(蘇州)電子化學(xué)品股份有限公司2018年完成了國家重大科技項(xiàng)目02專項(xiàng)“i線光刻膠產(chǎn)品開發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目后，i線光刻膠產(chǎn)品向中芯國際、合肥長鑫、華虹半導(dǎo)體、晶合集成等國內(nèi)知名半導(dǎo)體企業(yè)批量供貨。高端KrF光刻膠分辨率達(dá)到0.25-0.13μm，通過部分重要客戶測(cè)試，計(jì)劃2022年底批量供應(yīng)；ArF光刻膠研發(fā)工作正有序開展。眉山晶瑞年產(chǎn)1200噸光刻膠項(xiàng)目計(jì)劃2022年底建成。
徐州博康成立于2007年，深耕光刻材料領(lǐng)域十余年，實(shí)現(xiàn)了從單體、光刻膠專用樹脂、光酸劑及終產(chǎn)品光刻膠的國產(chǎn)化自主可控的供應(yīng)鏈，在KrF、ArF光刻膠的驗(yàn)證、導(dǎo)入、量產(chǎn)進(jìn)展效率矚目，為國內(nèi)半導(dǎo)體光刻膠領(lǐng)域少有的垂直一體化企業(yè)。2021年華懋科技通過產(chǎn)業(yè)基金的形式布局光刻材料業(yè)務(wù)板塊，子公司東陽凱陽持有徐州博康約26%股份，是徐州博康第二大股東。
