光柵尺是一種精密測(cè)量?jī)x器,可用于線性位移的精確測(cè)量。
1.光柵尺是什么
光柵尺就是利用光學(xué)原理進(jìn)行長(zhǎng)度和角度等測(cè)量的精密儀器。它由基座、主尺與從尺三部分組成?;习惭b有主尺,而從尺固定在需要測(cè)量的物體上。當(dāng)主尺和從尺相對(duì)運(yùn)動(dòng)時(shí),通過光電拾取頭接收光柵尺產(chǎn)生的光信號(hào),可以獲得物體的位移信息,實(shí)現(xiàn)位置的高精度測(cè)量。
2.光柵尺結(jié)構(gòu)
光柵尺主要由玻璃或金屬材料制成,在其表面刻有許多等距且非常細(xì)小的光柵刻痕。主尺的光柵刻痕為光纖束發(fā)出的光穿過的區(qū)域,而從尺則是一根用于接受光信號(hào)的感光元件。光柵尺的光電拾取頭將光柵尺產(chǎn)生的光信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào),經(jīng)過處理后就可以獲得需要精確測(cè)量的物體位移信息。
3.光柵尺原理
光柵尺測(cè)量的原理是基于幾何光學(xué)的干涉現(xiàn)象。當(dāng)主尺和從尺之間存在一定距離且相對(duì)運(yùn)動(dòng)時(shí),由主尺發(fā)出的激光束就會(huì)穿過光柵刻痕,形成經(jīng)過調(diào)制的干涉信號(hào)。而通過光電拾取頭捕獲的信號(hào)則是主尺和從尺位置差異的函數(shù),因此可以直接計(jì)算并輸出物體的精確位移信息。