系統(tǒng)版本:傳感器系統(tǒng)
氣壓傳感器是用于測(cè)量氣體的絕對(duì)壓強(qiáng)的儀器,主要適用于與氣體壓強(qiáng)相關(guān)的物理實(shí)驗(yàn),如氣體定律等,也可以在生物和化學(xué)實(shí)驗(yàn)中測(cè)量干燥、無(wú)腐蝕性的氣體壓強(qiáng)。
氣壓傳感器一般是利用MEMS技術(shù)在單晶硅片上加工出真空腔體和惠斯登電橋,惠斯登電橋橋臂兩端的輸出電壓與施加的壓力成正比,經(jīng)過(guò)溫度補(bǔ)償和校準(zhǔn)后具有體積小,精度高,響應(yīng)速度快,不受溫度變化影響的特點(diǎn)。輸出方式一般為模擬電壓輸出和數(shù)字信號(hào)輸出兩種,其中數(shù)字信號(hào)輸出方式由于和單片機(jī)連接方便,是市場(chǎng)上的主流。