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5月17日，據(jù)韓媒KoreaHerald報(bào)道，三星電子子公司及其半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商Semes的前雇員因涉嫌參與技術(shù)盜竊而被起訴。
圖：Semes的晶圓清洗機(jī)
芯片大師曾報(bào)道交期30個(gè)月！曝多家晶圓廠緊急赴海外“催貨”，隨著各大設(shè)備廠交期大幅延長(zhǎng)，市場(chǎng)上的二手半導(dǎo)體設(shè)備價(jià)格迎來(lái)暴漲。
根據(jù)水原地方檢察廳的說(shuō)法，韓國(guó)最大半導(dǎo)體設(shè)備制造商、三星供應(yīng)商Semes的兩名前雇員涉嫌參與向一家未公開(kāi)的中國(guó)實(shí)體出售關(guān)鍵的晶圓清洗機(jī)，而該設(shè)備據(jù)信為來(lái)自Semes的尖端晶圓清洗機(jī)。
在涉案的四名Semes員工中，一位被檢察官以違反《防止不正當(dāng)競(jìng)爭(zhēng)和商業(yè)秘密保護(hù)法》的罪名起訴，調(diào)查尚在進(jìn)行中。據(jù)報(bào)道，被指控“技術(shù)盜竊”的人通過(guò)出售設(shè)備獲得了大約800億韓元（約6260萬(wàn)美元）的回報(bào)。
圖：晶圓廠產(chǎn)線
這些機(jī)器被認(rèn)為是三星尖端半導(dǎo)體芯片技術(shù)的關(guān)鍵。在芯片制造過(guò)程的最初階段，使用清洗設(shè)備保持晶圓的清潔至關(guān)重要。隨著晶圓變得更薄，該工藝需要更復(fù)雜的方法。
而克服技術(shù)障礙的方法之一是讓設(shè)備使用超臨界流體狀態(tài)的二氧化碳來(lái)清潔晶圓，與使用其他流體（如超純水）進(jìn)行清潔相比，這可以減少對(duì)晶圓的損壞。
據(jù)悉，Semes是世界上第一家開(kāi)發(fā)該技術(shù)的公司，搭載該技術(shù)的晶圓清洗機(jī)器被獨(dú)家供應(yīng)給三星電子，專門(mén)用于存儲(chǔ)芯片、處理器芯片和晶圓代工業(yè)務(wù)。
三星在Semes擁有超過(guò)90%的股份，Semes成立于1993年的企業(yè)，是目前韓國(guó)最大的半導(dǎo)體設(shè)備商，主要從事半導(dǎo)體前端核心工序設(shè)備的生產(chǎn)。
而最近一兩年，該公司的蝕刻設(shè)備開(kāi)始取代日本東京電子，大規(guī)模應(yīng)用于三星的V-NAND閃存工廠，尤其是100層以上的高端產(chǎn)品。
