2020 年“芯長(zhǎng)征”半導(dǎo)體高峰論壇在中國(guó)蘇區(qū)江西贛州召開(kāi),旨在依托學(xué)界、業(yè)界力量,加強(qiáng)產(chǎn)學(xué)研交流研討,助力贛州乃至國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)新發(fā)展。高峰論壇邀請(qǐng)了行業(yè)內(nèi)重量級(jí)嘉賓,以新形勢(shì)下的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展和特色工藝半導(dǎo)體發(fā)展為主題,結(jié)合產(chǎn)業(yè)前沿技術(shù)及發(fā)展動(dòng)態(tài),針對(duì)半導(dǎo)體領(lǐng)域行業(yè)的熱點(diǎn)難點(diǎn)進(jìn)行研討交流,為半導(dǎo)體制造及特色工藝的技術(shù)創(chuàng)新與持續(xù)發(fā)展提供合理建議,促進(jìn)半導(dǎo)體產(chǎn)學(xué)研合作和技術(shù)成果轉(zhuǎn)化。
電子科技大學(xué)功率集成技術(shù)實(shí)驗(yàn)室主任張波教授發(fā)表了題為《功率芯片,中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)崛起的突破口》的主旨演講。張波教授從應(yīng)用、市場(chǎng)、機(jī)遇和挑戰(zhàn)等多個(gè)維度對(duì)功率芯片進(jìn)行了深入剖析,并指出功率芯片是中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)崛起的突破口。
張波教授表示,功率芯片是非常適合發(fā)揮我國(guó)比較優(yōu)勢(shì)的產(chǎn)業(yè),功率芯片是最有可能率先突破,趕上國(guó)際先進(jìn)水平的細(xì)分行業(yè)之一。早在 2003 年,中國(guó)工程院許居衍院士在吉林華微主辦的功率半導(dǎo)體發(fā)展研討會(huì)上,就提出功率半導(dǎo)體是最適合中國(guó)人發(fā)力的領(lǐng)域。
功率半導(dǎo)體是進(jìn)行功率(電能)處理(管理)的半導(dǎo)體器件。功率半導(dǎo)體的應(yīng)用十分廣泛,從幾十毫瓦的便攜式設(shè)備,到上千兆瓦的高壓直流傳輸過(guò)程;從儲(chǔ)能、家電,到 IT?產(chǎn)品、網(wǎng)絡(luò)通訊,只要是涉及電的領(lǐng)域,都存在它的身影。
不同功率半導(dǎo)體器件,其承受電壓、電流容量、阻抗能力、體積大小等特性也會(huì)不同。實(shí)際使用中,需要根據(jù)不同領(lǐng)域、不同需求來(lái)選用合適的器件。隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步,功率半導(dǎo)體器件在不斷演進(jìn)。自上世紀(jì) 80 年代起,功率半導(dǎo)體器件 MOSFET、IGBT 和功率集成電路逐步成為了主流應(yīng)用類型,同時(shí),SiC 和硅基 GaN 等新材料功率半導(dǎo)體器件最近又得到迅速發(fā)展。
由于功率半導(dǎo)體芯片在人類社會(huì)的進(jìn)步中發(fā)揮著越來(lái)越重要的作用,所以功率半導(dǎo)體芯片的市場(chǎng)規(guī)模持續(xù)擴(kuò)大。根據(jù) IHS iSuppli 的數(shù)據(jù),功率半導(dǎo)體的市場(chǎng)規(guī)模從 2001 年的 115 億美元成長(zhǎng)至 2018 年 466 億美元,年均復(fù)合成長(zhǎng) 8.1%。
全球半導(dǎo)體市場(chǎng)受存儲(chǔ)器芯片價(jià)格大起大落的影響而出現(xiàn)波動(dòng),但功率半導(dǎo)體整體一直保持平穩(wěn)發(fā)展,且在全球半導(dǎo)體整體市場(chǎng)份額中占比呈現(xiàn)持續(xù)上升趨勢(shì),功率半導(dǎo)體的占比從 2011 年的 8.27%上升至近年來(lái)的 10%左右。
從需求端來(lái)看,中國(guó)作為制造大國(guó),擁有全球最大的功率半導(dǎo)體市場(chǎng)。據(jù) Yole?Development 數(shù)據(jù),中國(guó)功率半導(dǎo)體市場(chǎng)規(guī)模在全球占比高達(dá) 39%,居第一位;從供給端來(lái)看,我國(guó)僅占有不足全球 10%的市場(chǎng)份額。如此看來(lái),我國(guó)功率半導(dǎo)體呈供需嚴(yán)重不匹配的格局,且國(guó)內(nèi)以低端產(chǎn)品為主。究其原因,張波教授認(rèn)為,這主要是因?yàn)橄到y(tǒng)廠商給國(guó)產(chǎn)芯片廠商試錯(cuò)迭代的機(jī)會(huì)太少。
同時(shí)功率半導(dǎo)體器件研制不僅要考慮器件特性,還有考慮應(yīng)用環(huán)境。要根據(jù)應(yīng)用去設(shè)計(jì)器件特性,可以稱之為超越器件(More than Devices)。
特色工藝的另一個(gè)特點(diǎn)是由于許多特色工藝產(chǎn)品與應(yīng)用場(chǎng)景密切相關(guān),因此工藝平臺(tái)繁多、產(chǎn)品種類龐雜,多種工藝平臺(tái)共存,同一類器件品種還多,英飛凌在功率半導(dǎo)體產(chǎn)品中就有 15 個(gè)分類。而在其中的功率 MOS 中就有 2497 個(gè)產(chǎn)品,而在 2018 年 11 月是 3315 個(gè)產(chǎn)品。而德州儀器在電源管理方面有多達(dá) 6983 個(gè)產(chǎn)品。
長(zhǎng)期以來(lái),集成度的提升靠的是集成電路工藝線寬的縮小,這是一維方向的堅(jiān)持發(fā)展。但隨著線寬的持續(xù)降低,半導(dǎo)體工藝發(fā)展到納米尺度,帶來(lái)無(wú)論是建廠成本、工藝研發(fā)還是產(chǎn)品研制費(fèi)用的急劇增加,集成電路工藝技術(shù)逐漸從單一追求尺寸依賴的先進(jìn)工藝,向尺寸依賴的先進(jìn)工藝(More Moore)、非尺寸依賴的特色工藝(More than Moore)和先進(jìn)封裝三個(gè)維度并舉發(fā)展。
尺寸依賴的先進(jìn)工藝投入巨大,是一個(gè)龐大的吞金獸,動(dòng)輒就是 1、2 百億美元。據(jù)報(bào)道,臺(tái)積電在 5nm 節(jié)點(diǎn),將投資 250 億美元發(fā)展 5nm 制程,2020 年量產(chǎn);3nm 項(xiàng)目投資超過(guò) 6000 億新臺(tái)幣,約為 194 億美元,2020 年開(kāi)始建廠,2021 年完成設(shè)備安裝,預(yù)計(jì) 2022 年底到 2023 年初量產(chǎn)。三星電子對(duì)現(xiàn)有的芯片工藝路線圖進(jìn)行了調(diào)整,或直接取消此前用于過(guò)渡的 4nm,由 5nm 制程工藝直接上升至 3nm。根據(jù)公開(kāi)市場(chǎng)數(shù)據(jù),3nm 芯片的設(shè)計(jì)費(fèi)用約達(dá) 5-15 億美元,興建一條 3nm 產(chǎn)線的成本約為 150-200 億美元。
而在功率半導(dǎo)體方面,意法半導(dǎo)體最先進(jìn)的 BCD 工藝也只是 65nm,我國(guó)株洲中車所生產(chǎn)出滿足軌道交通應(yīng)用的 IGBT 芯片的生產(chǎn)線也只是 8 英寸 0.35 微米,這和 7nm、5nm 工藝相比,投資力度小的多,工藝難度也小的多。同時(shí),相對(duì)于先進(jìn)工藝,經(jīng)過(guò)幾代炎黃子孫的努力,我國(guó)功率半導(dǎo)體以具備相對(duì)良好的產(chǎn)業(yè)生態(tài)和產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)。
功率半導(dǎo)體產(chǎn)品屬于模擬器件范疇,產(chǎn)品性能與應(yīng)用場(chǎng)景密切相關(guān)。也正是因?yàn)檫@種產(chǎn)品屬性,特色工藝產(chǎn)品往往無(wú)法形成壟斷企業(yè)。即使功率半導(dǎo)體分立器件老大,德國(guó)英飛凌公司收購(gòu)了美國(guó) IR 公司,其市場(chǎng)占有率也不到 20%,安森美收購(gòu)了 Failchild,其市場(chǎng)占有率也只有 9%。全球前十大功率半導(dǎo)體分立器件廠商加起來(lái)也只占據(jù) 60%左右的市場(chǎng)。
但由于多種原因,我們看到,在功率半導(dǎo)體分立器件的前十大企業(yè)中,沒(méi)有一家中國(guó)公司,這一方面是我們行業(yè)的悲哀,同時(shí)也是機(jī)遇,是我們國(guó)產(chǎn)替代的機(jī)遇。40%的市場(chǎng)被其它公司所占據(jù),功率半導(dǎo)體由于其自有屬性,沒(méi)有一家壟斷企業(yè),這就給小企業(yè)和后來(lái)者留下了足夠的發(fā)展空間。
隨著中美科技較量短兵相接,2020 年兩會(huì)上人大代表和政協(xié)委員關(guān)于中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的提案和建議備受矚目。其中民進(jìn)中央提交了“關(guān)于推動(dòng)中國(guó)功率半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)科學(xué)發(fā)展的提案”引起巨大反響。隨著工業(yè)、汽車、無(wú)線通訊和消費(fèi)電子等領(lǐng)域新應(yīng)用的不斷涌現(xiàn)以及節(jié)能減排需求日益迫切,我國(guó)功率半導(dǎo)體有龐大的市場(chǎng)需求,容易催生新產(chǎn)業(yè)新技術(shù),在國(guó)家政策利好下,功率半導(dǎo)體將成為“中國(guó)芯”的最好突破口。國(guó)家正大力發(fā)展的新基建又為功率半導(dǎo)體提供了新的增量空間。
5G 通訊是新基建的重要組成部分,但 5G 基站的能耗是 4G 的 3 倍多,這就對(duì)進(jìn)行能量處理的功率半導(dǎo)體提出了更高需求,5G 基站希望上架、去油、去鉛,這需要大量的高效的功率半導(dǎo)體芯片進(jìn)行能量管理。智能手機(jī)的功能越來(lái)越強(qiáng)大,在其變得輕薄的同時(shí),用戶希望待機(jī)時(shí)間更;新能源汽車的一個(gè)核心指標(biāo)就是續(xù)航里程,在電池沒(méi)有革命性進(jìn)展以前,功率半導(dǎo)體芯片在手機(jī)待機(jī)和新能源汽車?yán)m(xù)航里程改善方面發(fā)揮著重要作用。
綜上所述,從市場(chǎng)、產(chǎn)品屬性和產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)等多方因素分析,功率芯片將是中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)崛起的重要突破口。