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芯源微日前發(fā)布財(cái)報(bào)，2019 年實(shí)現(xiàn)營(yíng)收 2.13 億元，和 2018 年基本持平；實(shí)現(xiàn)歸屬于上市公司股東的凈利潤(rùn) 2928 萬(wàn)元。經(jīng)營(yíng)活動(dòng)產(chǎn)生的現(xiàn)金流量?jī)纛~ 1223 萬(wàn)，較 2018 年增長(zhǎng) 4000 萬(wàn)，主要是報(bào)告期內(nèi)公司銷(xiāo)售商品、提供勞務(wù)收到的現(xiàn)金較去年增加 3300 萬(wàn)元，同時(shí)購(gòu)買(mǎi)商品、接受勞務(wù)支付的現(xiàn)金同比減少 2000 萬(wàn)。
2019 年公司半導(dǎo)體設(shè)備營(yíng)收 2.07 億元，按產(chǎn)品劃分，涂膠顯影設(shè)備實(shí)現(xiàn)營(yíng)收 1.12 億元，單片式濕法設(shè)備實(shí)現(xiàn)營(yíng)收 0.95 億元。
涂膠顯影設(shè)備實(shí)現(xiàn)營(yíng)收 1.12 億元，較 2018 年的 1.29 億元下滑 13%，毛利率為 41.35%，較 2018 年的 44.15%減少 2.8 個(gè)百分點(diǎn)。
2019 年銷(xiāo)量是 47 臺(tái)套，較 2018 年下滑 22.5%；2018 年銷(xiāo)售涂膠顯影設(shè)備（包括噴膠機(jī)）共 61 臺(tái)套，其中，6 英寸及以下 42 臺(tái)套，8/12 英寸銷(xiāo)量為 17 臺(tái)套，噴膠機(jī) 2 臺(tái)套。據(jù)悉，公司 2019 年的訂單多為 8/12 英寸用高端設(shè)備。
單片式濕法設(shè)備實(shí)現(xiàn)營(yíng)收 0.95 億元，較 2018 年 0.72 億元增長(zhǎng) 32%，毛利率為 51.9%，較 2018 年的 50.05%增加 1.85 個(gè)百分點(diǎn)。
2019 年銷(xiāo)售單片式濕法設(shè)備共 34 臺(tái)套，較 2018 年增長(zhǎng) 62%；2018 年共銷(xiāo)售 21 臺(tái)套。
芯源微主要從事半導(dǎo)體專(zhuān)用設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售，包括光刻工序涂膠顯影設(shè)備（涂膠 / 顯影機(jī)、噴膠機(jī)）和單片式濕法設(shè)備（清洗機(jī)、去膠機(jī)、濕法刻蝕機(jī)），可用于 8/12 英寸單晶圓處理（如集成電路制造前道晶圓加工及后道先進(jìn)封裝環(huán)節(jié)）及 6 英寸及以下單晶圓處理（如化合物、MEMS、LED 芯片制造等環(huán)節(jié)）。
光刻工序涂膠顯影設(shè)備是集成電路制造過(guò)程中不可或缺的關(guān)鍵處理設(shè)備，主要與光刻機(jī)配合進(jìn)行作業(yè)，通過(guò)機(jī)械手使晶圓在各系統(tǒng)間傳輸和處理，從而完成晶圓的光刻膠涂覆、固化、顯影、堅(jiān)膜等工藝過(guò)程。作為光刻機(jī)的輸入（曝光前光刻膠涂覆）和輸出（曝光后圖形的顯影），涂膠 / 顯影機(jī)的性能不僅直接影響到細(xì)微曝光圖案的形成，其顯影工藝的圖形質(zhì)量和缺陷控制對(duì)后續(xù)蝕刻、離子注入工藝中的圖形轉(zhuǎn)移結(jié)果也有著深刻的影響。目前國(guó)際上前道晶圓加工領(lǐng)域用涂膠顯影設(shè)備主要被日本東京電子（TEL）所壟斷。
芯源微的光刻工序涂膠顯影設(shè)備已經(jīng)在在集成電路制造后道先進(jìn)封裝、化合物、MEMS、LED 芯片制造等環(huán)節(jié)，作為國(guó)內(nèi)廠(chǎng)商主流機(jī)型已廣泛應(yīng)用在國(guó)內(nèi)知名大廠(chǎng)，成功實(shí)現(xiàn)進(jìn)口替代，先進(jìn)封裝主力客戶(hù)有臺(tái)積電旗下封裝廠(chǎng)、長(zhǎng)電科技、通富微電、華天科技、晶方科技；化合物、MEMS、LED 芯片制造主力客戶(hù)有華燦光電、中圖科技、乾照光電等。
芯源微在集成電路制造后道先進(jìn)封裝、化合物、MEMS、LED 芯片制造取得突破后，積極尋求前道晶圓制造領(lǐng)域的突破。2018 年下半年開(kāi)始進(jìn)入大生產(chǎn)線(xiàn)進(jìn)行工藝驗(yàn)證，其中上海華力機(jī)臺(tái)為前道 Barc（抗反射層）涂覆設(shè)備，已于 2019 年 9 月通過(guò)工藝驗(yàn)證并確認(rèn)收入；長(zhǎng)江存儲(chǔ)機(jī)臺(tái)為前道涂膠顯影設(shè)備，目前仍在驗(yàn)證中。
清洗在半導(dǎo)體工藝流程中是一道關(guān)鍵的步驟。工藝流程的延長(zhǎng)且越趨復(fù)雜，每個(gè)晶片在整個(gè)制造過(guò)程中需要甚至超過(guò) 200 道清洗步驟， 晶圓清洗變得更加復(fù)雜、重要及富有挑戰(zhàn)性； 清洗設(shè)備及工藝也必須推陳出新，使用新的物理和化學(xué)原理，在滿(mǎn)足使用者的工藝需求條件下，兼顧降低晶圓清洗成本和環(huán)境保護(hù)。目前，集成電路制造前道晶圓加工領(lǐng)域用清洗設(shè)備主要被日本迪恩士（DNS）等廠(chǎng)商所壟斷。
芯源微通過(guò)持續(xù)的改進(jìn)、優(yōu)化，公司生產(chǎn)的集成電路前道晶圓加工領(lǐng)域用清洗機(jī) Spin Scrubber 設(shè)備的各項(xiàng)指標(biāo)均得到明顯改善或提升，在晶圓正反面清洗技術(shù)方面，顆粒去除能力由原來(lái)的>90nm 水平提升至>40nm 水平；內(nèi)部微環(huán)境精確控制技術(shù)已經(jīng)與國(guó)際知名企業(yè)持平。清洗設(shè)備已在中芯國(guó)際、上海華力等多個(gè)國(guó)內(nèi)主力客戶(hù)處通過(guò)工藝驗(yàn)證，截至目前已獲得國(guó)內(nèi)多家晶圓廠(chǎng)商的重復(fù)訂單。
芯源微成立于 2002 年，2008 年獲批承擔(dān)“十一五”國(guó)家 02 科技重大專(zhuān)項(xiàng)，2012 年獲批承擔(dān)“十二五”國(guó)家 02 科技重大專(zhuān)項(xiàng)；2016 年光刻工序涂膠顯影設(shè)備批量出口到臺(tái)積電，助力臺(tái)積電 InFO 量產(chǎn)；2018 年前道 Track 設(shè)備在大生產(chǎn)線(xiàn)進(jìn)行工藝驗(yàn)證，2019 年在上海華力通過(guò)驗(yàn)證。
公司通過(guò)借鑒前道產(chǎn)品的先進(jìn)設(shè)計(jì)理念和技術(shù)，對(duì)后道設(shè)備、小尺寸設(shè)備的架構(gòu)進(jìn)行優(yōu)化，提升了工藝水平和產(chǎn)品產(chǎn)能。應(yīng)用了前道先進(jìn)設(shè)計(jì)理念及技術(shù)的后道產(chǎn)品在國(guó)內(nèi)多家封裝大廠(chǎng) Fan-out 產(chǎn)線(xiàn)應(yīng)用，目前已經(jīng)成為客戶(hù)端的 base line 設(shè)備。
芯源微在前道產(chǎn)品領(lǐng)域的探索，瞄準(zhǔn)的是未來(lái)廣闊的市場(chǎng)空間（芯思想研究院認(rèn)為，未來(lái)五年國(guó)內(nèi)前道 FAB 將釋放 3000 億元以上的設(shè)備采購(gòu)空間），以及目前國(guó)產(chǎn)品牌的市場(chǎng)空白。但要追趕國(guó)際領(lǐng)先水平，芯源微還需通過(guò)大量客戶(hù)驗(yàn)證，積攢前道開(kāi)發(fā)經(jīng)驗(yàn)。
半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)擁有非常豐富的下游應(yīng)用，通常是“一代器件、一代設(shè)備、一代工藝”。下游應(yīng)用往往是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的核心驅(qū)動(dòng)力，這就給國(guó)產(chǎn)企業(yè)開(kāi)辟了發(fā)展空間。
芯源微的下游客戶(hù)之前集中在國(guó)內(nèi) LED 芯片制造企業(yè)和集成電路后道先進(jìn)封裝企業(yè)，為包括臺(tái)積電、長(zhǎng)電科技、華天科技、通富微電多家半導(dǎo)體生產(chǎn)商供貨。2019 年前道 Track 設(shè)備在華力微 12 英寸產(chǎn)線(xiàn)的獲得驗(yàn)證通過(guò)，無(wú)疑為公司進(jìn)入前道晶圓制造打開(kāi)了一扇窗，如果長(zhǎng)江存儲(chǔ)的驗(yàn)證通過(guò)，必將加快公司進(jìn)入更廣闊的前道設(shè)備主戰(zhàn)場(chǎng)的步伐。
通過(guò)在大生產(chǎn)線(xiàn)的驗(yàn)證，芯源微在多個(gè)關(guān)鍵技術(shù)方面取得突破。芯思想研究院獲悉，芯源微已經(jīng)獲得株洲中車(chē)、青島芯恩、上海積塔、寧波中芯、紹興中芯、廈門(mén)士蘭、昆明京東方等多個(gè)前道大客戶(hù)的訂單。
