與非網(wǎng) 10 月 16 日訊,由于日韓兩國(guó)之間的貿(mào)易糾紛,日本政府于 7 月 4 日加強(qiáng)氟化氫、光阻劑和氟化聚醯亞胺對(duì)南韓的出口管制,促使南韓業(yè)者積極尋求減少對(duì)日本技術(shù)的依賴(lài)。
盡管日本之后批準(zhǔn)了部分氣態(tài)氟化氫的出口,但液態(tài)氟化氫出口還尚無(wú)例外。此前 9 月 2 日有報(bào)道稱(chēng),LGD 已完成對(duì)韓國(guó)生產(chǎn)的氟化氫的測(cè)試,8 日該公司證實(shí),未來(lái)將實(shí)現(xiàn) 100%韓國(guó)國(guó)產(chǎn)原料生產(chǎn)替代。?
不過(guò),LGD 相關(guān)人士最近表示,在面板生產(chǎn)中使用的液態(tài)氟化氫,已于最近全部轉(zhuǎn)換為 (韓國(guó)) 國(guó)產(chǎn)品。這也意味著 LGD 旗下面板工廠(chǎng)已經(jīng)完成使用國(guó)產(chǎn)氟化氫材料取代日本進(jìn)口,100%韓國(guó)產(chǎn)。
高純度的電子級(jí)氟化氫是氟精細(xì)化學(xué)品的一種,在半導(dǎo)體制造工藝中主要用于去除膜沉積后粘附在化學(xué)氣相沉積爐內(nèi)的不必要化學(xué)物質(zhì)、等離子刻蝕、光刻膠圖案化之后的蝕刻細(xì)槽或孔等流程,是一種半導(dǎo)體生產(chǎn)中非常重要的原材料,日本公司在這個(gè)領(lǐng)域占據(jù)主要份額。
與 LG 相比,三星、SK 海力士也在積極展開(kāi)日本材料的替換工作,不過(guò)這兩家的主力產(chǎn)品是半導(dǎo)體芯片,對(duì)日產(chǎn)氟化氫以及另外兩種材料光刻膠、氟化聚酰亞胺的依賴(lài)性比 LG 更高,替換起來(lái)沒(méi)這么容易。
三星旗下面板事業(yè)三星顯示也曾預(yù)計(jì)在 9 月完成國(guó)產(chǎn)高純氟化氫的測(cè)試,并很可能在最終測(cè)試完成后,立即用于量產(chǎn)面板。
在此之前,三星顯示使用的氟化氫來(lái)自日本和南韓企業(yè),但在日本祭出制裁前,該公司已持續(xù)進(jìn)行氟化氫的國(guó)產(chǎn)化試驗(yàn)。根據(jù)三星顯示之前的測(cè)試結(jié)果,測(cè)試中還未發(fā)現(xiàn)任何關(guān)鍵問(wèn)題,本地產(chǎn)品很可能在最終測(cè)試后立即用于批量生產(chǎn)。
另外,SK 海力士也將韓國(guó)產(chǎn)的氟化氫引入生產(chǎn)過(guò)程進(jìn)行測(cè)試。