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就在 3 月 19 日，晶圓檢測(cè)設(shè)備制造商科磊(KLA-Tencor )宣布以 34 億美元的架構(gòu)收購(gòu)以色列自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)(AOI)系統(tǒng)供貨商奧寶科技(Orbotech )，科磊公司總裁兼首席執(zhí)行官 Rick Wallace 評(píng)論，“這種結(jié)合將為科磊開(kāi)創(chuàng)新的市場(chǎng)機(jī)遇，并擴(kuò)大我們?yōu)?a class="article-link" target="_blank" href="/tag/%E5%8D%8A%E5%AF%BC%E4%BD%93/">半導(dǎo)體行業(yè)服務(wù)的投資組合?！憋@然 2017 年全球半導(dǎo)體設(shè)備采購(gòu)金額大漲 27%的好年景也讓 KLA-Tencor 賺得盆滿缽滿，有足夠的資本來(lái)通過(guò)收購(gòu)進(jìn)一步擴(kuò)張自己的產(chǎn)品和業(yè)務(wù)疆域。
這里面中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的快速崛起和發(fā)展機(jī)遇功不可沒(méi)，近日在慕尼黑上海電子展上，KLA-Tencor 公司高級(jí)副總裁 Oreste Donzella 就亮出了一份漂亮的成績(jī)單，僅在中國(guó)市場(chǎng)，該公司 2017 年的設(shè)備訂單數(shù)就是 2016 年的 3 倍，Oreste 特別提到因?yàn)樵O(shè)備供貨普遍存在滯后交易期的情況，2017 年的訂單將在 2018 年轉(zhuǎn)化為公司收益，也暗示 2018 年 KLA-Tencor 的營(yíng)收將非常樂(lè)觀。
KLA-Tencor 公司高級(jí)副總裁 Oreste Donzella
半導(dǎo)體設(shè)備廠商的機(jī)遇
Oreste 將包括人工智能、自動(dòng)駕駛、5G 和物聯(lián)網(wǎng)在內(nèi)的新興應(yīng)用，以及中國(guó)本土半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的崛起視為全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的兩大轉(zhuǎn)折點(diǎn)。而這里面提到的很多新興應(yīng)用都將在中國(guó)市場(chǎng)上更快找到落腳點(diǎn)，無(wú)疑，中國(guó)這塊龐大的消費(fèi)市場(chǎng)讓全球的企業(yè)都看到了機(jī)遇。對(duì)此，Oreste 深有感觸，他談到自己 2000 年第一次來(lái)到中國(guó)，彼時(shí)國(guó)內(nèi)的中芯國(guó)際、華虹、華潤(rùn)等晶圓廠還沒(méi)有大規(guī)模的代工廠，到 2008 年開(kāi)始從沿海到內(nèi)地都開(kāi)始大建代工廠，到了 2018 年，則可以看到從東北、廈門(mén)到深圳，從上海、南京到重慶、成都、武漢等地，掀起了一場(chǎng)舉國(guó)大搞半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)建設(shè)的浪潮。
一方面是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)多年未有的快速增長(zhǎng)，一方面是中國(guó)市場(chǎng)的需求激增，作為其中重要一環(huán)的半導(dǎo)體設(shè)備廠商，KLA-Tencor 自然不會(huì)錯(cuò)過(guò)如此大好時(shí)機(jī)。Oreste 介紹，KLA-Tencor 對(duì)中國(guó)市場(chǎng)投入了大量精力和資源，目前國(guó)內(nèi)員工包括面向客戶的 260 人，實(shí)現(xiàn)了 11%的成長(zhǎng)，研發(fā) 230 多人，成長(zhǎng) 12%，以及深圳制造工廠部分 160 多人，也有很快成長(zhǎng)。
助力半導(dǎo)體晶圓代工產(chǎn)業(yè)，科磊能做什么
從半導(dǎo)體工藝制程的發(fā)展來(lái)看，隨著當(dāng)前工藝節(jié)點(diǎn)的不斷縮小，制程管控遇到了更大的挑戰(zhàn)。Oreste 形容困難之處在于，一顆芯片的制造工藝可能包括 1000 個(gè)以上的工藝步驟，且有超過(guò) 10 億個(gè)晶體管和超過(guò) 1 英里長(zhǎng)的電路布線，都在一顆小小的晶圓上實(shí)現(xiàn)，任何一個(gè)步驟出現(xiàn)問(wèn)題都會(huì)讓整個(gè)芯片報(bào)廢。
KLA-Tencor 在做的事就是通過(guò)檢測(cè)和量測(cè)幫助客戶實(shí)現(xiàn)更好的制程管理，其中檢測(cè)可以及時(shí)發(fā)現(xiàn)制程中的缺陷，量測(cè)則是保證所有制造步驟符合穩(wěn)定的設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)。
Oreste 表示，針對(duì)制程研發(fā)、新產(chǎn)品試產(chǎn)和規(guī)模量產(chǎn)三種情況，KLA-Tencor 可提供不同的制程管控策略，其中研發(fā)過(guò)程中的制程管控，需要了解制程需求，幫助客戶找出制程的缺陷和差距，從而解決問(wèn)題，因?yàn)樵谛录夹g(shù)引進(jìn)時(shí)會(huì)遇到很多新的挑戰(zhàn)、缺陷和困難，KLA-Tencor 檢測(cè)和量測(cè)的貢獻(xiàn)就是幫助盡早發(fā)現(xiàn)和解決問(wèn)題；在新產(chǎn)品試產(chǎn)階段，制程管控的作用是幫助發(fā)現(xiàn)和解決良率問(wèn)題，加快工藝開(kāi)發(fā)和量產(chǎn)速度；在量產(chǎn)階段，制程管控則可以幫助客戶穩(wěn)定良率，改善制程的可預(yù)測(cè)性，避免產(chǎn)線出現(xiàn)異常問(wèn)題。隨著晶圓成本越來(lái)越高，每個(gè)百分點(diǎn)的良率提升都將轉(zhuǎn)化為巨大的經(jīng)濟(jì)價(jià)值，KLA-Tencor 可在上述三個(gè)階段幫助客戶縮短研發(fā)時(shí)間、提升生產(chǎn)良率。Oreste 進(jìn)一步提到，針對(duì)中國(guó)市場(chǎng)，目前處在研發(fā)階段的包括中芯國(guó)際 14nm 工藝，武漢新芯等，處在初期試產(chǎn)階段的包括聯(lián)電和中芯國(guó)際的 28nm 工藝，以及更多已經(jīng)實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)的制程，都有 KLA-Tencor 的用武之地。
如果將客戶分為兩類，一類是前沿技術(shù)領(lǐng)域的客戶，一類是成熟市場(chǎng)規(guī)模量產(chǎn)的客戶，針對(duì)不同客戶類型，KLA-Tencor 也有不同的產(chǎn)品策略。Oreste 介紹，對(duì)于前沿技術(shù)領(lǐng)域的客戶，KLA-Tencor 在產(chǎn)品中引進(jìn) EUV、電子光學(xué)、激光、多頻段，以及計(jì)算光學(xué)、深度學(xué)習(xí)和軟件開(kāi)放的先進(jìn)技術(shù)，同時(shí)把新技術(shù)融合到產(chǎn)品中來(lái)配合客戶的需求。從 1985 年最早的用燈泡、半成品的潛望鏡等分立組件開(kāi)發(fā)的第一代旗艦機(jī)，到 2016 年已經(jīng)完全擁有自有設(shè)計(jì)實(shí)力，通過(guò)專有芯片供應(yīng)商，采用具有太空精度級(jí)別的器件來(lái)完成半導(dǎo)體設(shè)備的研發(fā)和生產(chǎn)，KLA-Tencor 不斷保持技術(shù)上的自我提升；而針對(duì)成熟市場(chǎng)的量產(chǎn)客戶，Oreste 提到，雖然 300mm 晶圓已經(jīng)進(jìn)入量產(chǎn)，但目前成熟的 200mm 晶圓代工還有旺盛的需求，很多新項(xiàng)目不斷開(kāi)展，相信它的生命周期還將延續(xù)相當(dāng)一段時(shí)間，而對(duì)成熟技術(shù)的挑戰(zhàn)在于成本，同時(shí)很多 200mm 設(shè)備過(guò)于搶手，已經(jīng)沒(méi)有貨源，為此，KLA-Tencor 重啟一些生產(chǎn)線以滿足客戶需求，并提供二手翻新設(shè)備的服務(wù)，為客戶提供更具成本效益的產(chǎn)品。這在國(guó)內(nèi)的很多從 4 寸、5 寸和 6 寸向 8 寸迭代的晶圓代工廠中應(yīng)該大有市場(chǎng)。
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