PECVD的噴淋頭有什么作用？

知識星球（星球名：芯片制造與封測技術社區(qū)，星球號：63559049）里的學員問：PECVD中的shower head有什么作用？

shower head是什么東西？

如上圖，Showerhead，又可翻譯為噴淋頭，花灑等，Showerhead通常緊貼反應區(qū)的上部，并作為氣體入口，將反應氣體通過其表面的小孔均勻地注入到腔體內(nèi)。當然并不是僅僅只有氣體分布的功能，有的設計好可以用來充當電極的一部分。

shower head的作用？

shower head表面布滿了密密麻麻的小孔，反應氣體流入后，會被均勻地分成若干份，并以一致的流速傳輸?shù)?a class="article-link" target="_blank" href="/tag/%E6%99%B6%E5%9C%86/">晶圓上方，使反應氣體均勻覆蓋整個晶圓表面，以便生成更均勻的鍍層。當Showerhead作為電極的一部分時，射頻電源在其表面產(chǎn)生均勻的電場，能夠形成均勻的等離子體。

一般用什么金屬來做shower head？

最常見的是鋁金屬，因為其具有較高的熱導率及抗腐蝕能力。也可以用石英或陶瓷來做shower head。

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