但凡對于半導(dǎo)體行業(yè)稍微有些了解的朋友對于光刻膠這個(gè)名詞一定耳熟能詳了。但大多數(shù)人不一定熟知的是:其實(shí)在實(shí)際半導(dǎo)體制造中還需要不少和光刻膠配套使用的化學(xué)試劑,比如:
顯影液和剝離液:這兩種化學(xué)試劑知道的人還比較多,也比較容易理解
增粘劑(Adhesion Promoter):這預(yù)先涂敷在晶圓上用以增加光刻膠附著能力的一種試劑
TARC、BARC(TopBottom Anti-Reflective Coating):分別涂敷在光刻膠上面和下面的用來消減入射光反射影響顯影分辨率的材料
TCM(Top Coating Material):浸入式光刻工序中在光刻膠上面涂敷的一層防水材料
SOC/SOG/SOD(Spin On Carbon/Glass/Dopant/Dielectric):通過旋涂方式涂敷在晶圓表面的材料。(其中一部分和光刻工序沒有直接關(guān)系,但我也列在這里了)
溶劑/去邊液(Solvent):在光刻膠涂敷完畢后,用來去除晶圓邊緣光刻膠的溶劑
這些化學(xué)試劑的技術(shù)難度相對光刻膠本身簡單,但用量也不算小。特別有意思的是,目前國內(nèi)的供應(yīng)商數(shù)量還不是很多 -- 這和我收集的其它領(lǐng)域產(chǎn)品時(shí)遇到的國產(chǎn)供應(yīng)商鋪天蓋地的情況相比有些特殊了
當(dāng)然,也可能是我收集能力還不足,漏掉不少供應(yīng)商吧。麻煩發(fā)現(xiàn)問題的朋友能夠給予我修改信息。謝謝了
這個(gè)表格的原始EXCEL文檔我都放到知識(shí)星球上了。歡迎大家來獲取下載
我收集了近十年的行業(yè)數(shù)據(jù)已經(jīng)覆蓋了大半個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈,還有大量的原創(chuàng)行業(yè)景氣度數(shù)據(jù)分析和研報(bào)。現(xiàn)在所有數(shù)據(jù)原始文檔都貢獻(xiàn)出來,給你個(gè)一鍋端走的機(jī)會(huì)(云盤直接同步我電腦硬盤,隨時(shí)更新)原價(jià)2198元,折后僅需要1598元(特別說明:平臺(tái)可以開發(fā)票)