1108
知識(shí)星球（星球名：芯片制造與封測(cè)技術(shù)社區(qū)，星球號(hào)：63559049）里的學(xué)員問(wèn)：PMMA是電子束光刻中用的材料，具有光敏性嗎，算光刻膠嗎？
什么是PMMA？
PMMA（聚甲基丙烯酸甲酯）是最常見(jiàn)的正性電子束光刻膠之一。雖然是電子束光刻膠，但是本身不具有光敏性，它是一種聚合物。未加工狀態(tài)是固體粉末，可以溶解在氯苯、二氯甲烷中，形成液態(tài)的可旋涂的物質(zhì)。
什么是電子束光刻？
電子束光刻（EBL）是一種無(wú)掩模光刻技術(shù)，與傳統(tǒng)的UV，DUV,EUV光刻不同，電子束光刻利用波長(zhǎng)更短的電子束來(lái)進(jìn)行曝光，分辨率可達(dá)<10nm。但是曝光速率極低，不適合量產(chǎn)使用。
PMMA具有光敏性嗎？
PMMA不是光敏材料，它不會(huì)對(duì)紫外線（UV）光產(chǎn)生反應(yīng)。它是一種電子束敏感抗蝕劑，當(dāng)電子束照射到PMMA時(shí)，它會(huì)斷裂聚合物鏈，使曝光的區(qū)域更容易在顯影液。
電子束光刻顯影液與UV光刻顯影液的區(qū)別？
電子束光刻的顯影液一般為有機(jī)溶劑，如甲基異丁基酮（MIBK）、異丙醇（IPA）等。UV光刻的顯影液一般為水堿性溶液，如四甲基氫氧化銨（TMAH）。
歡迎加入我的半導(dǎo)體制造知識(shí)星球社區(qū)，目前社區(qū)有2000人左右。在這里會(huì)針對(duì)學(xué)員問(wèn)題答疑解惑，上千個(gè)半導(dǎo)體行業(yè)資料共享，內(nèi)容比文章豐富很多很多，適合快速提升半導(dǎo)體制造能力，介紹如下：? ? ?《歡迎加入作者的芯片知識(shí)社區(qū)！》
