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慕尼黑2022年5月24日 /美通社/ -- 半導(dǎo)體制造業(yè)提供溫度管理解決方案的領(lǐng)導(dǎo)者——ERS electronic開發(fā)了一種溫度校準(zhǔn)設(shè)備，該設(shè)備可以在晶圓實(shí)際針測(cè)區(qū)域進(jìn)行高精確度（低至30mK）全自動(dòng)測(cè)量。目前，被命名為ProbeSense™的該設(shè)備正在申請(qǐng)技術(shù)專利。
由一個(gè)溫度傳感器組成，安裝在晶圓探針臺(tái)的探針卡處的ProbeSense™，將在晶圓針測(cè)中，遵循探針XYZ軸的移動(dòng)規(guī)律，在保證測(cè)試環(huán)境相同的情況下，對(duì)晶圓表面進(jìn)行多點(diǎn)溫度測(cè)量。ProbeSense™將與適配板一起交付，實(shí)現(xiàn)與行業(yè)主流探針臺(tái)兼容的同時(shí)，滿足客戶的需要。此外，在ProbeSense™的整套裝備中還包含一個(gè)溫度測(cè)量?jī)x器，該儀器的精確度已經(jīng)預(yù)先與溫度傳感器同步校準(zhǔn)在了mk范圍之內(nèi)。
為了進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)測(cè)量過程無(wú)需人力操作的全自動(dòng)化，探針臺(tái)中還將裝載ProbeSense™配套軟件，以在不同溫度下，針對(duì)卡盤不同位置運(yùn)行測(cè)試腳本。MPI是首批在其探針臺(tái)上提供這項(xiàng)功能的探針臺(tái)制造商之一。
“ProbeSense™很好的滿足了行業(yè)對(duì)功能性強(qiáng)、精確度高且易于操作的校準(zhǔn)工具的需求，”ERS electronic公司首席技術(shù)官Klemens Reitinger說。 “我們堅(jiān)信，已經(jīng)被多家探針臺(tái)制造商采用的該全自動(dòng)ProbeSense™將成為精度校準(zhǔn)和溫度均勻性測(cè)量領(lǐng)域的規(guī)則改寫者。”
“成功將ProbeSense™集成到SENTIO®探針臺(tái)的MPI公司看到了該設(shè)備的明顯優(yōu)勢(shì)：不僅操作上直觀便捷，測(cè)試速度也較快。由于其全自動(dòng)的特性，還實(shí)現(xiàn)了夜間和周末的持續(xù)校準(zhǔn)，從而節(jié)省了生產(chǎn)時(shí)間。”Stojan Kanev, MPI公司總經(jīng)理說， “ProbeSense™的推出，正是為了更好的滿足客戶在成本控制、提高工作效率方面的需求。”
ERS ProbeSense™現(xiàn)已接受預(yù)訂。
