2019 年臺(tái)積電營收 346.3 億美元,凈利 111.8 億美元,凈利率高達(dá) 32%。
2019 年臺(tái)積電晶圓出貨量達(dá) 1010 萬片 12 英寸晶圓約當(dāng)量,2018 年為 1080 萬片 12 寸晶圓約當(dāng)量;2019 年先進(jìn)制程技術(shù)(16/12/10/7 納米)的銷售金額占整體晶圓銷售金額的 50%,高于 2018 年的 41%;2019 年在全球代工領(lǐng)域市場占有率達(dá) 52%,高于 2018 年的 51%。
2019 年提供 272 種不同的制程技術(shù),為 499 個(gè)客戶生產(chǎn)了 10761 種不同的芯片,應(yīng)用范圍包括整個(gè)電子應(yīng)用產(chǎn)業(yè),如個(gè)人電腦與其周邊產(chǎn)品、信息應(yīng)用產(chǎn)品、有線與無線通訊系統(tǒng)產(chǎn)品、服務(wù)器與數(shù)據(jù)中心、汽車與工業(yè)以及包括數(shù)字電視、游戲機(jī)、數(shù)碼相機(jī)等消費(fèi)性電子、物聯(lián)網(wǎng)及穿戴式設(shè)備等。
根據(jù)臺(tái)積電方面的透露,目前臺(tái)積電 5 納米制程已經(jīng)準(zhǔn)備完成,隨時(shí)可以進(jìn)入到量產(chǎn)當(dāng)中。在 5 納米客戶上,臺(tái)積電目前幾乎囊括了所有對(duì)于 5 納米有需求的客戶,包括蘋果(Apple)、高通(Qualcomm)、海思(Hisilicon)、超微半導(dǎo)體(AMD)、聯(lián)發(fā)科(MTK)等公司。3 納米技術(shù)繼續(xù)使用 FinFET 晶體管結(jié)構(gòu),將于 2021 年試產(chǎn),2022 年量產(chǎn);2019 年已經(jīng)投入 2 納米研發(fā),預(yù)計(jì)將于 2024 年投產(chǎn)。
臺(tái)積電真是越來越可怕,已經(jīng)成為晶圓代工市場的巨無霸。下面芯思想研究院從三個(gè)方面解析臺(tái)積電。
大手筆研發(fā)投入,助力技術(shù)領(lǐng)先
2000 年研發(fā)費(fèi)用首次超過 1 億美元,2007 年研發(fā)費(fèi)用首次突破 5 億美元,2011 年研發(fā)費(fèi)用首次突破 10 億美元,2015 年研發(fā)費(fèi)用首次突破 20 億美元;2019 年研發(fā)費(fèi)用為 29.6 億美元,接近 30 億美元。從 2000 年到 2019 年研發(fā)費(fèi)用合計(jì)達(dá) 240 億美元,而從 2015 年到 2019 年的研發(fā)費(fèi)用合計(jì) 128 億美元,超過前 15 年的研發(fā)費(fèi)用總和。大手筆研發(fā)投入帶來的是技術(shù)的領(lǐng)先。
2018 年臺(tái)積電的財(cái)報(bào)中有一句話:成功地量產(chǎn) 7 納米(N7)制程,并領(lǐng)先其他同業(yè)至少一年。2019 年 6 月臺(tái)積電成功量產(chǎn) 7 納米加強(qiáng)版(N7+),這是業(yè)界首個(gè)商用極紫外光(EUV)制程。
此舉意義重大。這是臺(tái)積電歷史上第一次在一個(gè)重要技術(shù)節(jié)點(diǎn),領(lǐng)先群雄。根據(jù)英特爾的技術(shù)路線圖,EUV 要到 20201 年才會(huì)導(dǎo)入,這表明臺(tái)積電領(lǐng)先英特爾至少兩年。在 FinFET 工藝之爭中,英特爾于 2011 年成功推出 22 納米 Tri-Gate 技術(shù),臺(tái)積電直到 2015 年才推出 16 納米 FinFET 工藝,整整晚了四年。
臺(tái)積電自 1987 年透過轉(zhuǎn)讓中國臺(tái)灣工業(yè)技術(shù)研究院的 2 微米和 3.5 微米工藝技術(shù)創(chuàng)立公司,一直秉持“內(nèi)部研發(fā)”戰(zhàn)略,并在當(dāng)年為飛利浦定制了 3.0 微米工藝技術(shù);1988 年,剛剛一歲的臺(tái)積電就自研了 1.5 微米工藝技術(shù);1999 年發(fā)布了世界上第一個(gè) 0.18 微米低功耗工藝技術(shù);2003 年推出了當(dāng)時(shí)業(yè)界領(lǐng)先的 0.13 微米低介質(zhì)銅導(dǎo)線邏輯制程技術(shù);2004 年全球首家采用浸沒式光刻工藝生產(chǎn) 90 納米芯片;2006 年量產(chǎn) 65 納米工藝技術(shù);2008 年量產(chǎn) 40 納米工藝技術(shù);2011 年全球首家推出 28 納米通用工藝技術(shù);2014 年全球首家量產(chǎn) 20 納米工藝技術(shù)。
臺(tái)積電在開始 20 納米制程研發(fā)時(shí),就瞄準(zhǔn)布局 FinFET,2012 年完成 16 納米制程的定義,迅速且順利地完成測試芯片的產(chǎn)品設(shè)計(jì)定案,并在以 FinFET 架構(gòu)為基礎(chǔ)的靜態(tài)隨機(jī)存取存儲(chǔ)器單位元(SRAM Bit Cell)上展現(xiàn)功能性良率;并在 2014 年開始風(fēng)險(xiǎn)生產(chǎn) 16FF+工藝,2015 年就順利量產(chǎn);2016 年采用多重曝光的 10 納米工藝也迅速進(jìn)入量產(chǎn),量產(chǎn)速度較之前的制程更快。
臺(tái)積電的 7 納米是 10 納米的縮小版(shrink),后部金屬工藝技術(shù)基本兼容,整體密度和性能改進(jìn)不多。采用 DUV 加浸沒式(immersion)和多重圖案(multiple patterning)方案的 7 納米于 2017 年 4 月開始風(fēng)險(xiǎn)生產(chǎn),,2018 年第三季開始貢獻(xiàn)營收,在 2018 年有 40 多個(gè)客戶產(chǎn)品流片,2019 年有 100 多個(gè)新產(chǎn)品流片。與 10 納米 FinFET 工藝相比,7 納米 FinFET 具有 1.6 倍邏輯密度,約 20%的速度提升和約 40%的功耗降低。有兩個(gè)工藝制程可選,一是針對(duì) AP(N7P),二是針對(duì) HPC(N7HP)。聯(lián)發(fā)科天璣 1000、蘋果 A13 和高通驍龍 865 都是采用 N7P 工藝。
臺(tái)積電第一個(gè)使用極紫外光(EUV)方案的工藝是 7 納米加強(qiáng)版(N7+)。N7+于 2018 年 8 月進(jìn)入風(fēng)險(xiǎn)生產(chǎn)階段,2019 年第三季開始量產(chǎn),N7+的邏輯密度比 N7 提高 15%至 20%,同時(shí)降低功耗。
7 納米之后是 6 納米(N6)。2019 年 4 月份推出的 6 納米是 7 納米的(shrink),設(shè)計(jì)規(guī)則與 N7 完全兼容,使其全面的設(shè)計(jì)生態(tài)系統(tǒng)得以重復(fù)使用,且加速客戶產(chǎn)品上市時(shí)間,但 N6 的邏輯密度比 N7 高出 18%的。N6 將在 2020 年第一季風(fēng)險(xiǎn)試產(chǎn),第三季實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)。
7 納米之后的全節(jié)點(diǎn)提升的工藝是 5 納米(N5)。5 納米完全采用極紫外光(EUV)方案,于 2019 年 3 月進(jìn)入風(fēng)險(xiǎn)生產(chǎn)階段,預(yù)期 2020 年第二季拉高產(chǎn)能并進(jìn)入量產(chǎn)。主力生產(chǎn)工廠是 Fab 18。與 7 納米制程相較,但 5 納米從前到后都是全新的節(jié)點(diǎn),邏輯密度是之前 7 納米的 1.8 倍,SRAM 密度是 7 納米的 1.35 倍,可以帶來 15%的性能提升,以及 30%的功耗降低。5 納米的另一個(gè)工藝是 N5P,預(yù)計(jì) 2020 年第一季開始試產(chǎn),2021 年進(jìn)入量產(chǎn)。與 5nm 制程相較在同一功耗下可再提升 7%運(yùn)算效能,或在同一運(yùn)算效能下可再降低 15%功耗。
5 納米之后的全節(jié)點(diǎn)提升的工藝是 3 納米,臺(tái)積電表示正在研發(fā)中,雖然制程細(xì)節(jié) 2020 年 4 月將見分曉。但根據(jù)一些細(xì)節(jié)發(fā)現(xiàn),臺(tái)積電 3 納米工藝?yán)^續(xù)采用 FinFET 工藝,晶體管密度達(dá)到每平方毫米 2.5 億個(gè)(250MTr/mm2),相對(duì)于 5 納米來說,晶體管密度提升達(dá) 1.5 倍,性能提升 7%,能耗減少 15%。
而 2 納米,臺(tái)積電表示已經(jīng)于 2019 年領(lǐng)先半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)進(jìn)行制程技術(shù)的研發(fā),并將著重于改善極紫外光(EUV)技術(shù)的質(zhì)量與成本。
大規(guī)模資本支出,擴(kuò)大產(chǎn)能
日前,臺(tái)積電宣布,2020 年的資本支出將在 150-160 億美元之間,這將成為臺(tái)積電資本支出最大的一年。
2000 年資本支出首次超過 10 億美元,2010 年資本支出首次超過 50 億美元,2016 年資本支出首次超過 100 億美元。從 2000 年到 2019 年資本支出合計(jì)達(dá) 1150 億美元,而從 2016 年到 2019 年的資本支出是 464 億美元,占近 20 年資本支出總和的 40%。大規(guī)模資本支出帶來的是龐大的產(chǎn)能支持。
截至 2019 年底,臺(tái)積電全球有五座 12 英寸晶圓廠(新竹 FAB12、臺(tái)南 FAB14、臺(tái)中 FAB15、南京 FAB16、臺(tái)南 FAB18)、六座 8 英寸晶圓廠(新竹 FAB3、新竹 FAB5、新竹 FAB6、新竹 FAB8、上海 FAB10、美國 FAB11)和一座 6 英寸晶圓廠(新竹 FAB2),年產(chǎn)能超過 1200 萬片 12 英寸晶圓約當(dāng)量。?
我們下面來了解一下臺(tái)積電的 FinFET 產(chǎn)能建置情況。
臺(tái)積電最早生產(chǎn) FinFET 始于 2014 年,目前 FinFET 工藝有 5 個(gè)基地,分別是位于中國臺(tái)灣新竹的 FAB12、中國臺(tái)灣臺(tái)南的 FAB14 和 FAB18、中國臺(tái)灣臺(tái)中的 FAB15 和江蘇南京的 FAB16。各工藝節(jié)點(diǎn)的布局是,16/12 納米由 FAB14 和 FAB16 負(fù)責(zé)生產(chǎn),合計(jì)月產(chǎn)能約 15 萬片;7 納米由 FAB15 負(fù)責(zé)生產(chǎn),合計(jì)月產(chǎn)能約 15 萬片;5 納米主要在 FAB18 生產(chǎn),目前 FAB18 P1/P2 的建置產(chǎn)能達(dá) 10 萬片。
當(dāng)然 FAB12 是臺(tái)積電的研發(fā)基地,各工藝節(jié)點(diǎn)的產(chǎn)能都可以協(xié)調(diào)。如此算來,臺(tái)積電的 FinFET 月產(chǎn)能總計(jì)不下于 40 萬片 12 英寸晶圓。相較三星的月產(chǎn)能 25 萬片 12 英寸晶多 60%
關(guān)于 3 納米產(chǎn)能建置情況,因疫情導(dǎo)致物流延遲,相關(guān)關(guān)鍵設(shè)備無法如期交貨,裝機(jī)人員也受到境外人士不能抵臺(tái)等限制,無法如期裝機(jī)。臺(tái)媒報(bào)道稱,F(xiàn)AB12B 工廠 3 納米試產(chǎn)線裝機(jī)從 6 月延至 10 月,F(xiàn)AB18 工廠 3 納米試產(chǎn)線裝機(jī)從 10 月也將延遲 1 個(gè)季度。臺(tái)積電原訂今年底提前試產(chǎn) 3nm 制程計(jì)劃,將延至明年初才會(huì)試產(chǎn),但應(yīng)會(huì)如原先預(yù)定在 2022 年量產(chǎn)。
至于在 3 納米工藝上的資金投入更是天文數(shù)字,據(jù)稱研發(fā)和建線已投入約 500 億美元,僅建廠一項(xiàng)就在 200 億美元。3 納米產(chǎn)線將于 2020 年動(dòng)工,在新竹寶山興,建預(yù)計(jì)投資超過新臺(tái)幣 6000 億元興建 3 納米寶山廠,最快 2022 年底量產(chǎn)。
還有就是從 2010 年開始,臺(tái)積電從 ASML 購得第一臺(tái) EUV(第一代 EUV 機(jī)型 NXE:3100)至今,臺(tái)積電擁有超過 30 臺(tái) EUV 光刻機(jī),約占全球 EUV 光刻機(jī)總出貨量的一半。這也是臺(tái)積電產(chǎn)能保障的一部分。
布局高端封裝,形成客戶粘性
2008 年開始先進(jìn)封裝布局。首先成立集成互連與封裝技術(shù)整合部門,2009 年開始戰(zhàn)略布局三維集成電路(3D IC)系統(tǒng)整合平臺(tái)。在新竹、臺(tái)南、桃園、臺(tái)中建有四座先進(jìn)封測廠。
目前,臺(tái)積電先進(jìn)封裝技術(shù) WLSI(Wafer-Level-System-Integration)平臺(tái)包括既有的 CoWoS 封裝、InFO 封裝,以及針對(duì)物聯(lián)網(wǎng)芯片的晶圓級(jí)封裝(WLCSP),還將于 2021 年推出系統(tǒng)級(jí)整合芯片(SoIC,System-on-integrated-chips)封裝技術(shù),陣容更加齊整、堅(jiān)強(qiáng)。
1、CoWoS
CoWoS 主要針對(duì)高性能計(jì)算(High Performance Computing,HPC)市場。
2011 年推出 2.5D Interposer 技術(shù) CoWoS(Chip on Wafer on Substrate,晶圓基底封裝)。張忠謀在第三季法說會(huì)上放言,臺(tái)積電要進(jìn)軍封裝領(lǐng)域。此舉震撼半導(dǎo)體業(yè)界,特別是封裝業(yè)界。第一代 CoWoS 采用 65 納米工藝,線寬可以達(dá)到 0.25μm,實(shí)現(xiàn) 4 層布線,為 FPGA、GPU 等高性能產(chǎn)品的集成提供解決方案。到 2013 年量產(chǎn)時(shí),可編程邏輯門陣列供應(yīng)賽靈思(Xilinx)型號(hào)為“Virtex-7 2000T FPGA”的 28 納米產(chǎn)品是最具代表性的 CoWoS 產(chǎn)品之一。目前 CoWoS 已經(jīng)獲得賽靈思(Xilinx)、英偉達(dá)(nVIDIA)、超微半導(dǎo)體(AMD)、富士通(Fujitsu)谷歌(Google)、華為海思(HiSilicon)等高端 HPC 芯片訂單。?
2019 年第三季 CoWoS 技術(shù)目前已經(jīng)擴(kuò)展至 7 納米,能夠在尺寸達(dá)二倍光罩大小的硅基板(Silicon Interposer)上異質(zhì)整合多顆 7 納米系統(tǒng)單晶片與第二代高頻寬存儲(chǔ)器(High Bandwidth Memory 2,HBM2)。
值得注意的是,在 VLSI Symposium 會(huì)上,臺(tái)積電展示了自己為高性能計(jì)算平臺(tái)設(shè)計(jì)的一顆名為“This”小芯片(Chiplet),采用 7 納米工藝,面積大小僅僅 27.28 平方毫米(4.4x6.2mm),采用 CoWos 封裝技術(shù),雙芯片結(jié)構(gòu),其一內(nèi)建 4 個(gè) Cortex A72 核心,另一內(nèi)建 6MiB 三級(jí)緩存。This 的標(biāo)稱最高主頻為 4GHz,實(shí)測達(dá)到了 4.2GHz(1.375V)。同時(shí),臺(tái)積電還開發(fā)了稱之為 LIPINCON 互連技術(shù),信號(hào)數(shù)據(jù)速率 8 GT/s。
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2、InFO
InFO 技術(shù)成功應(yīng)用于追求高性價(jià)比的移動(dòng)通訊市場,AP 產(chǎn)品是其主要客戶。
2016 年臺(tái)積電推出的 InFO 技術(shù)是最具代表性的扇出封裝技術(shù),InFO 帶動(dòng)了整個(gè)業(yè)界研發(fā)三維扇出堆疊技術(shù)的熱潮。?
InFO 是將 CoWoS 結(jié)構(gòu)盡量簡化,最后出來一個(gè)無須硅中介層的精簡設(shè)計(jì),可以讓芯片與芯片之間直接連結(jié),減少厚度,成本也相對(duì)較 CoWoS 低廉,但又能夠有良好的表現(xiàn),適用于追求性價(jià)比的移動(dòng)通信領(lǐng)域,在手機(jī)處理器封裝中,減低 30%的厚度,騰出寶貴的手機(jī)空間給電池或其他零件。這就是 2016 年首次開始在蘋果的 A10 處理器中采用 InFO 封裝,首度用在蘋果 iPhone 7 與 iPhone 7Plus 中。InFO 成為臺(tái)積電獨(dú)占蘋果 A 系列處理器訂單的關(guān)鍵。?
圖 1?臺(tái)積電 InFO 技術(shù)
?(圖片來源:C. F. Tseng et al., ECTC 2016, pp 1)
圖 1 展示了臺(tái)積電 InFO 技術(shù),通過將芯片埋入模塑料,以銅柱實(shí)現(xiàn)三維封裝互連。InFO 技術(shù)為蘋果 A10、A11、A12 處理器和存儲(chǔ)器的 PoP 封裝提供了新的封裝方案,拓展了 WL-FO 的應(yīng)用,讓 Fan-Out 技術(shù)成為行業(yè)熱點(diǎn)。
臺(tái)積電 InFO 技術(shù)的成功得益于強(qiáng)大的研發(fā)能力和商業(yè)合作模式。推出 InFO 技術(shù),是為了提供 AP 制造和封裝整體解決方案,即使在最初良率很低的情況下,臺(tái)積電也能持續(xù)進(jìn)行良率提升,這對(duì)封測廠來說是不可能的。
InFO 技術(shù)的巨大成功推動(dòng)制造業(yè)、封測業(yè)以及基板企業(yè)投入了大量人力物力開展三維扇出技術(shù)的創(chuàng)新研發(fā)。業(yè)界也發(fā)現(xiàn),很多原本需要 2.5D TSV 轉(zhuǎn)接板封裝可以通過三維扇出來完成,解決了 TSV 轉(zhuǎn)接板成本太高,工藝太復(fù)雜的問題。
根據(jù)不同產(chǎn)品類別,臺(tái)積電的 InFO 技術(shù)發(fā)展也將隨之進(jìn)行調(diào)整,推出適用于 HPC(High?Performance?Computer)高效能運(yùn)算電腦的 InFO-oS(InFO?on substrate)、服務(wù)器及存儲(chǔ)器的(InFO Packageon-Package,InFO-PoP),以及 5G 通訊天線封裝方面的 InFO-AiP(InFO?Antennas in Packag)。
InFO-oS
2018 年臺(tái)積電推出 InFO_oS 技術(shù)用于并排封裝兩個(gè)芯片,芯片與芯片之間的互連為 2um。芯片之間的間隙小于 70um;InFO_MS 和 InFO_oS 基本相同,但在 SoC 旁邊帶有 HBM(高帶寬內(nèi)存)。
3、SoIC
臺(tái)積電表示,SoIC 是一種創(chuàng)新的多芯片堆疊技術(shù),是一種將帶有 TSV 的芯片通過無凸點(diǎn)混合鍵合實(shí)現(xiàn)三維堆疊,可以交多個(gè)小芯片(Chiplet)整合成一個(gè)面積更小和輪廓更薄的系統(tǒng)單芯片。透過此項(xiàng)技術(shù),7 納米、5 納米甚至 3 納米的先進(jìn)系統(tǒng)單芯片能夠與多階層、多功能芯片整合,可實(shí)現(xiàn)高速、高頻、低功耗、高間距密度、最小占用空間的異質(zhì)三維集成電路。
SoIC 技術(shù)的出現(xiàn)表明未來的芯片能在接近相同的體積里,增加雙倍以上的性能。這意味著 SoIC 技術(shù)可望進(jìn)一步突破單一芯片運(yùn)行效能,更可以持續(xù)維持摩爾定律。
據(jù)悉 SoIC 根植于臺(tái)積電的 CoWoS 與多晶圓堆疊(WoW,Wafer-on-Wafer)封裝,SoIC 特別倚重于 CoW(Chip-on-wafer)設(shè)計(jì),如此一來,對(duì)于芯片業(yè)者來說,采用的 IP 都已經(jīng)認(rèn)證過一輪,生產(chǎn)上可以更成熟,良率也可以提升,也可以導(dǎo)入存儲(chǔ)器芯片應(yīng)用。
2019 年年報(bào)顯示,臺(tái)積電已完成 SoIC 制程認(rèn)證,開發(fā)出微米級(jí)接合間距(bonding pitch)制程,并獲得極高的電性良率與可靠度數(shù)據(jù),具備為任何潛在客戶用生產(chǎn)的能力。而此前在 2018 年 10 月的第三季法說會(huì)上,臺(tái)積電給出了明確量產(chǎn)的時(shí)間,2021 年 SoIC 技術(shù)就將進(jìn)行量產(chǎn)。
4、其他
針對(duì)先進(jìn)行動(dòng)裝置及高效能運(yùn)算的應(yīng)用,采用細(xì)小間距陣列銅凸塊(Cu bump)倒裝(Flip Chip)的 7 納米晶圓已于 2018 年第一季開始量產(chǎn)。除了高階先進(jìn)手 機(jī)內(nèi)使用的 28 奈米產(chǎn)品及更成熟技術(shù)外, 適用于物 聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用的 16 奈米制程的晶圓級(jí)封裝(Wafer Level Chip Scale Packaging, WLCSP)技術(shù)亦于民國一百零 七年第四季開始量產(chǎn)。
臺(tái)積電的 CoWoS、InFO、SoIC 及其他封裝技術(shù)能對(duì) 10 納米或以下的制程進(jìn)行晶圓級(jí)的鍵合技術(shù),極大的強(qiáng)化臺(tái)各積電在先進(jìn)工藝制程的競爭力。
臺(tái)積電除了提供內(nèi)部 CoWoS 和 InFO 服務(wù)外,還通過外包的組裝和測試合作伙伴管理整個(gè)供應(yīng)鏈,從而為客戶提供集成的制造、封測、運(yùn)輸?shù)慕昏€匙服務(wù),幫助客戶縮短上市時(shí)間和縮短批量生產(chǎn)時(shí)間。