2 月 20 日韓國 Wonik IPS 公司拿下三星電子新款 Molding 設(shè)備(Quanta 5 代 /6 代)訂單。此設(shè)備將供應(yīng)至三星電子 Nand Flash 中國西安 2 工廠,使用于 3D Nand Flash 制程。
根據(jù)韓媒 Etnews 報(bào)道,雖 Wonik IPS 公司的供應(yīng)數(shù)量暫無具體資訊,但業(yè)界預(yù)測對公司業(yè)績貢獻(xiàn)巨大。
3D Nand Flash 是將電路進(jìn)行垂直疊加以提升容量的半導(dǎo)體。需要重復(fù) Oxide 和 Nitride 化學(xué)物質(zhì)的超薄重復(fù)疊加,此過程也稱之為 Molding。Molding 設(shè)備需要確保 Oxide 和 Nitride 的均一疊加,所以超過 100 層以上的 3D Nand 制程時(shí) Molding 設(shè)備的性能就十分重要。
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圖:Wonik IPS 公司 Molding 設(shè)備 Quanta
Wonik IPS 公司拿下三星電子的 Molding 設(shè)備訂單并非是首次,2014 年時(shí)也曾供應(yīng)過西安 1 工廠的 Molding 設(shè)備。但 2017 年后雙方訂單漸少,被美國 Ram research 擠下。三星電子的 Molding 設(shè)備訂單基本全部被 Ram research 拿下。Wonik IPS 切齒腐心為重奪市場加強(qiáng)研發(fā)和設(shè)備性能,終于重回三星供應(yīng)鏈。
Wonik IPS 提升了設(shè)備內(nèi) Plasma 密度,增加了 Chamber 數(shù)量以提升產(chǎn)能。尤其在 100 層以上的高疊層 Nand Flash 設(shè)備上的平坦薄膜制造優(yōu)勢明顯。
半導(dǎo)體業(yè)界人士評論,雖 Ram research 也拿到訂單,但 Wonik IPS 重回三星供應(yīng)鏈的意義十分重大,Wonik IPS 的平坦化性能上具有領(lǐng)先優(yōu)勢。
除了三星西安 2 工廠 Molding 設(shè)備訂單外,Wonik IPS 還拿下了韓國華城 EUV 線集成半導(dǎo)體蒸鍍設(shè)備、平澤 2 工廠 10 納米 DRAM 制程設(shè)備等訂單。訂單總規(guī)模約為 7000 億韓幣(約合 41 億人民幣)。Wonik IPS 為應(yīng)對暴增的訂單,正在評估增設(shè)工廠。
設(shè)備業(yè)界人士認(rèn)為,得益于三星電子新線供應(yīng)訂單,Wonik IPS 今年?duì)I收或?qū)⑺⑿滦录o(jì)錄。