中國大陸晶圓制造用EDA軟件供應(yīng)商排名出爐，這家公司毫無意外霸榜

2019 年 5 月，芯思想研究院（ChipInsights）推出了中國大陸晶圓制造用 EDA 軟件供應(yīng)商排名。2018 年中國大陸晶圓制造用 EDA 軟件總體市場規(guī)模不足 1 億美元，約為 9400 萬美元。

 

晶圓制造用 EDA 軟件包括：OPC（optical proximity correction，光學(xué)鄰近校正）、Yield Management（量率管理）、Mask Data Processing（掩模數(shù)據(jù)處理）、TCAD、SPICE modeling（器件建模）等軟件工具。

 

 

據(jù)芯思想研究院（ChipInsights）統(tǒng)計，全球晶圓制造用 EDA 軟件市場規(guī)模約 7 億美元，市占率前三名分別是明導(dǎo)（Mentor）、阿斯麥（ASML）和新思（Synopsys）。

 

OPC（光學(xué)鄰近校正）是最大的晶圓制造用 EDA 市場，其市場規(guī)模達(dá) 4 億美元。在深亞微米的半導(dǎo)體制造中，由于關(guān)鍵圖形的 CD 已經(jīng)遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于光源的波長，所以由于光的衍射效應(yīng)，導(dǎo)致光罩投影至硅片上面的圖形有很大的變化，如線寬的變化，轉(zhuǎn)角的圓化，線長的縮短等，以及各種光學(xué)臨近效應(yīng)。為了避免這些效應(yīng)的產(chǎn)生，直接修改 Design house tape out 出來的 Pattern,然后再交給 mask shop 去做 mask。例如將 line end 上修改成 hammer head 之類的 pattern，諸如此類。這個修正的迭代過程就叫 OPC。

 

而在 Yield Management（量率管理）市場，原來主要由美國 PDF Solution 主導(dǎo)，但是現(xiàn)在中國大陸公司已經(jīng)開始嶄露頭角，并取得相當(dāng)?shù)某煽儭?/div>