四探針電阻率測(cè)試儀比對(duì)時(shí),對(duì)環(huán)境有以下幾方面要求:
溫度要求
溫度恒定:理想的測(cè)試環(huán)境溫度應(yīng)保持相對(duì)恒定,一般建議控制在 23℃±5℃范圍內(nèi)。因?yàn)闇囟葘?duì)材料的電阻率有著較為顯著的影響,大多數(shù)材料的電阻率會(huì)隨溫度變化而改變。例如半導(dǎo)體材料,溫度升高時(shí),其內(nèi)部載流子的運(yùn)動(dòng)更加劇烈,會(huì)導(dǎo)致電阻率下降。如果溫度波動(dòng)較大,就很難準(zhǔn)確比對(duì)測(cè)試儀測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性,不同時(shí)刻測(cè)量的數(shù)據(jù)可能更多是受溫度影響而非儀器本身性能差異導(dǎo)致。
溫度均勻性:測(cè)試環(huán)境內(nèi)的溫度要分布均勻,避免出現(xiàn)局部溫度過高或過低的情況。在有條件的實(shí)驗(yàn)室中,可使用高精度的恒溫箱來放置測(cè)試儀及樣品,保證整個(gè)測(cè)試區(qū)域溫度基本一致,防止因溫度梯度造成的熱對(duì)流等因素影響測(cè)量的精準(zhǔn)度。
濕度要求
濕度范圍控制:環(huán)境濕度通常需控制在 40% - 60% 的相對(duì)濕度范圍內(nèi)。濕度過高時(shí),空氣中的水汽容易在儀器表面、探針以及測(cè)試樣品上凝結(jié)形成水珠,這可能會(huì)改變樣品的導(dǎo)電性能,或者造成儀器電路短路等故障,影響測(cè)試及比對(duì)工作正常進(jìn)行。而濕度過低,容易產(chǎn)生靜電,靜電有可能干擾儀器的電子元件正常工作,并且對(duì)一些對(duì)靜電敏感的測(cè)試樣品也會(huì)造成不良影響,比如使樣品吸附灰塵等雜質(zhì),進(jìn)而影響電阻率測(cè)量值。
濕度穩(wěn)定性:和溫度一樣,濕度也應(yīng)盡量保持穩(wěn)定,避免短時(shí)間內(nèi)濕度大幅波動(dòng)。可以通過配置除濕機(jī)、加濕器等設(shè)備,結(jié)合濕度傳感器來實(shí)時(shí)監(jiān)控并調(diào)節(jié)環(huán)境濕度,保障測(cè)試環(huán)境濕度符合要求。
電磁環(huán)境要求
屏蔽外界電磁干擾:要盡可能減少外界電磁場(chǎng)對(duì)測(cè)試儀的干擾,因?yàn)閺?qiáng)電磁場(chǎng)可能會(huì)影響儀器內(nèi)部的電路信號(hào)傳輸以及測(cè)量時(shí)的電流、電壓信號(hào),進(jìn)而影響電阻率的測(cè)量結(jié)果。所以測(cè)試場(chǎng)地一般要遠(yuǎn)離大型電機(jī)、變壓器、高頻發(fā)射裝置等強(qiáng)電磁輻射源。此外,有的實(shí)驗(yàn)室會(huì)采用電磁屏蔽室,或者對(duì)儀器自身進(jìn)行電磁屏蔽處理,比如儀器外殼采用金屬屏蔽材料等,來保障測(cè)試環(huán)境的電磁 “純凈”。
避免內(nèi)部電磁干擾:儀器自身的布線、各電子元件之間也要做好電磁兼容設(shè)計(jì),防止內(nèi)部產(chǎn)生電磁干擾影響測(cè)量。例如合理布局儀器內(nèi)部的電源線、信號(hào)線,采用屏蔽線并做好接地等措施,使得儀器在工作過程中內(nèi)部各部分能穩(wěn)定運(yùn)行,不受電磁方面的不良影響,從而確保比對(duì)時(shí)測(cè)量數(shù)據(jù)的可靠性。
清潔度要求
空氣清潔:測(cè)試環(huán)境中的空氣應(yīng)保持清潔,盡量減少灰塵、顆粒物等雜質(zhì)。這些雜質(zhì)如果附著在測(cè)試樣品表面或者進(jìn)入儀器內(nèi)部,可能會(huì)改變樣品的導(dǎo)電通路,或者影響儀器的電路連接、探針與樣品的接觸等情況,導(dǎo)致測(cè)量出現(xiàn)偏差。所以實(shí)驗(yàn)室一般要配備空氣凈化設(shè)備,定期對(duì)室內(nèi)空氣進(jìn)行過濾凈化。
臺(tái)面及周邊清潔:放置測(cè)試儀的臺(tái)面以及周邊區(qū)域也要保持干凈整潔,避免雜物堆積,防止在操作過程中因誤碰雜物等情況影響測(cè)試和比對(duì)工作,同時(shí)也減少了因雜物攜帶灰塵等影響環(huán)境清潔度的隱患。
振動(dòng)要求
減少振動(dòng)影響:環(huán)境應(yīng)盡量避免有明顯的振動(dòng)源,強(qiáng)烈的振動(dòng)可能會(huì)使探針與測(cè)試樣品之間的接觸不穩(wěn)定,導(dǎo)致接觸電阻發(fā)生變化,進(jìn)而影響電阻率的測(cè)量值。比如測(cè)試場(chǎng)地要遠(yuǎn)離正在運(yùn)轉(zhuǎn)的大型沖壓設(shè)備、離心機(jī)等會(huì)產(chǎn)生較大振動(dòng)的機(jī)器,也可對(duì)放置儀器的工作臺(tái)采取減震措施,如安裝減震墊等,確保儀器在穩(wěn)定的狀態(tài)下進(jìn)行比對(duì)測(cè)試。