在半導(dǎo)體制造、封裝領(lǐng)域會用到大量的成膜設(shè)備,技術(shù)路徑多樣、不一而足。我個人一般把半導(dǎo)體成膜設(shè)備分為三大類:
1)化學(xué)氣相淀積(CVD:Chemical Vapor Deposition)-?包含ALD
2)物理氣相淀積(PVD:Physical Vapour Deposition)
3)其它成膜設(shè)備
網(wǎng)上關(guān)于CVD/ALD設(shè)備的討論和相關(guān)的技術(shù)和市場的文章報告比較多,但PVD設(shè)備的相對會少一些,而收集和整理相關(guān)供應(yīng)商信息的文章更是少之又少
其實PVD技術(shù)的應(yīng)用領(lǐng)域非常廣泛。除了半導(dǎo)體以外,面板、太陽能等領(lǐng)域都大規(guī)模采用,甚至我們手機外殼的鍍膜都可能用到該類技術(shù)。我之前見過的相關(guān)文章里經(jīng)常把半導(dǎo)體和非半導(dǎo)體用的PVD設(shè)備供應(yīng)商搞混在一起,很容易引起大家誤解所以這次我打算把我個人整理的數(shù)據(jù)拿出來和大家分享一下PVD是一個統(tǒng)稱,它下面包含了各種技術(shù)路徑。
在我的分類里,大體收錄了濺鍍、真空蒸鍍、分子束外延三大類,之下又分了一些小類。比如濺鍍的工藝下面就分了磁控(這個是目前應(yīng)用領(lǐng)域最廣的一項)、離子束、射頻和脈沖激光等細項當(dāng)然,由于個人能力和資源有限,目前的分類和信息無法覆蓋到所有類型,麻煩大家理解和寬容了
如果有專業(yè)認識能幫忙提出一些改進和補充建議,那我真的是感激不盡了
歡迎大家和我微信聯(lián)系,也可以在公眾號里留言。這里先謝謝了順便也拜托大家方便的情況下多多轉(zhuǎn)發(fā),讓更多行業(yè)高人看到,給予我?guī)椭?/p>
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這之后我還會設(shè)計和安排幾門課,分別給大家講解一下工藝節(jié)點里的14nm、7nm到底是什么意思光刻機究竟是怎么工作的,技術(shù)的奧秘在哪里如何通過數(shù)據(jù)模型來理解臺積電的財務(wù)報告,以及預(yù)判它未來的發(fā)展空間
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