加速度計(jì)在很多市場中都有著重要的作用。智能手機(jī)中會(huì)用到加速度計(jì),汽車中也會(huì)用到加速度計(jì)。測量速度的變化率似乎可以有無限的應(yīng)用。雖然有很多設(shè)計(jì)技術(shù)可用來創(chuàng)建加速度計(jì),但 MEMSIC® Inc. 使用Tanner工具開發(fā)了沒有可動(dòng)部件的MEMS和CMOS IC 技術(shù)。采用獨(dú)特的熱技術(shù),通過被加熱的氣體分子測量加速度。
要將混合信號處理與MEMS器件設(shè)計(jì)到同一芯片上非常困難,不過MEMSIC已成功將這些技術(shù)集成到同一硅片上,并且已向各行業(yè)售出了數(shù)百萬的加速度計(jì)。該公司還克服了另外兩大障礙,做到了堅(jiān)持使用標(biāo)準(zhǔn) CMOS IC 工藝從而維持低成本生產(chǎn)并且使用Tanner的單套工具將開發(fā)標(biāo)準(zhǔn)化。本白皮書介紹了他們是如何完成這一壯舉的。